めっき方法及び装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：作田康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-301985
公開番号（公開出願番号）：特開2001-123291
出願日： 1999年10月25日
公開日（公表日）： 2001年05月08日
要約：

【要約】【課題】本発明は電解めっきを行うめっき装置に関し、被めっき物であるウエハが給電されていない状態でめっき液に触れた際の、ウエハ表面のエッチング及び腐食を防ぐことを課題とする。【解決手段】ウエハに対し常時微弱電圧を印加できる定電圧電源及び陰極電極と、水洗槽などの前処理槽,後処理槽でめっき処理槽と同様に給電を行える定電圧電源を設けることで課題を解決する。また、定電流電源と定電圧電源の出力を並列接続することにより定電圧電源の出力のオン/オフ制御を必要とせず、電源の制御を容易にする。【効果】上記解決手段により、ウエハ表面のエッチング及び腐食を防ぐことができた。また、電源の制御が容易にできた。

請求項（抜粋）：

被めっき物をめっき液中に浸漬させて電気めっきを行うめっき方法において、被めっき物に常時微弱電圧を印加できることを特徴とするめっき方法。

Fターム (11件)：

4K024AB01 , 4K024BA01 , 4K024BB11 , 4K024BB12 , 4K024BC06 , 4K024CA06 , 4K024CA07 , 4K024CB05 , 4K024CB08 , 4K024GA01 , 4K024GA04

引用特許：

審査官引用 (5件)

電気めっき方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-014756 出願人：ティーディーケイ株式会社
自動めっき装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-084368 出願人：株式会社日立製作所, 日立協和工業株式会社
電気めっき装置および電気めっき方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-310919 出願人：日立金属株式会社

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