特許
J-GLOBAL ID：200903019226488055

めっき方法及び装置

発明者：
藁谷 隆志

藁谷 隆志 について

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近藤 祥

近藤 祥 について

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及川 玄

及川 玄 について

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椎名 宏美

椎名 宏美 について

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竹内 昌巳

竹内 昌巳 について


出願人/特許権者：
株式会社日立製作所

株式会社日立製作所 について

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日立協和エンジニアリング株式会社

日立協和エンジニアリング株式会社 について


代理人 (1件)： 作田 康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-301985
公開番号（公開出願番号）：特開2001-123291
出願日： 1999年10月25日
公開日（公表日）： 2001年05月08日
要約：
【要約】【課題】本発明は電解めっきを行うめっき装置に関し、被めっき物であるウエハが給電されていない状態でめっき液に触れた際の、ウエハ表面のエッチング及び腐食を防ぐことを課題とする。【解決手段】ウエハに対し常時微弱電圧を印加できる定電圧電源及び陰極電極と、水洗槽などの前処理槽,後処理槽でめっき処理槽と同様に給電を行える定電圧電源を設けることで課題を解決する。また、定電流電源と定電圧電源の出力を並列接続することにより定電圧電源の出力のオン/オフ制御を必要とせず、電源の制御を容易にする。【効果】上記解決手段により、ウエハ表面のエッチング及び腐食を防ぐことができた。また、電源の制御が容易にできた。
請求項（抜粋）：
被めっき物をめっき液中に浸漬させて電気めっきを行うめっき方法において、被めっき物に常時微弱電圧を印加できることを特徴とするめっき方法。
Fターム (11件)：
4K024AB01 ,  4K024BA01 ,  4K024BB11 ,  4K024BB12 ,  4K024BC06 ,  4K024CA06 ,  4K024CA07 ,  4K024CB05 ,  4K024CB08 ,  4K024GA01 ,  4K024GA04
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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