特許
J-GLOBAL ID：200903065882854396

カップ式めっき方法及びそれに用いるカップ式めっき装置

発明者：
榊 泰彦

榊 泰彦 について


出願人/特許権者：
日本エレクトロプレイテイング・エンジニヤース株式会社

日本エレクトロプレイテイング・エンジニヤース株式会社 について


代理人 (1件)： 高月 猛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-015637
公開番号（公開出願番号）：特開平11-209890
出願日： 1998年01月28日
公開日（公表日）： 1999年08月03日
要約：
【要約】【課題】 めっき液に対して溶解しやすい被めっき面を有するウエーハにめっき処理する場合でも均一なめっき厚を実現できるカップ式めっき方法及びそれに用いるカップ式めっき装置を提供することを目的とする。【解決手段】 カップ式めっき槽1の上部開口に沿って支持部2が設けられるとともに、この支持部2の下側位置にめっき槽の内部から外部に貫通する複数のめっき液流出路3、4が設けられた装置を用いて、ウエーハ6の被めっき面7近傍までめっき液を供給した後、めっき槽1内に残留するバブルをめっき液流出路3から外部に排出できるような速さでめっき液を供給してめっき処理するようにした。
請求項（抜粋）：
めっき槽上部に載置されたウエーハの被めっき面に、めっき槽の下方からめっき液を上昇させて供給するとともにめっき槽に設けられためっき液流出路からめっき液を排出させながらめっき処理するものであるカップ式めっき方法において、ウエーハの被めっき面とめっき液面との接触は、めっき液面を水平に保ちながらめっき液を供給することにより、被めっき面全面でほぼ同時になるようにしてめっき処理するようにしたことを特徴とするカップ式めっき方法。
IPC (2件)：
C25D 7/12 ,  C25D 21/00
FI (2件)：
C25D 7/12 ,  C25D 21/00 J
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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