基板処理装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：稲岡耕作 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-325332
公開番号（公開出願番号）：特開平10-172943
出願日： 1996年12月05日
公開日（公表日）： 1998年06月26日
要約：

【要約】【課題】処理液を圧送するベローズポンプの破損を確実に検知する。【解決手段】ベローズポンプ25は、薬液タンク23から薬液供給路24を介し、ノズル22に向けて薬液を圧送する。薬液供給路24には、トラップタンク26が設けられている。薬液供給路24内において気泡が発生すると、トラップタンク26内の液面が低下する。液面が液面センサS1にまで下降すると、エア抜きのためのエア弁42が開成され、これにより、トラップタンク26内の液面が再び上昇する。しかし、ベローズポンプ25の破損により圧縮空気が薬液供給路24中に混入すると、エア弁42の開成によっても液面の低下が停止しない。これにより液面センサS2よりも下に液面が下がると、ベローズポンプ25が破損したものと検知される。

請求項（抜粋）：

基板に処理を施すための処理液を基板に供給するための処理液供給路と、この処理液供給路を通して処理液を圧送するための圧送手段と、上記処理液供給路に介装され、上記処理液を所定量だけ蓄えることができる容器と、上記容器に接続された気体排出路に設けられ、弁が開成されることによって上記容器内の気体の排出を許容し、弁が閉成されることによって上記容器内の気体の排出を制限する気体排出弁と、上記容器内の上記処理液の量を、多い順から第1の液量範囲、第2の液量範囲、および第3の液量範囲の3つの液量範囲のうちのいずれかに区別して検出し、上記容器内の処理液の量が上記3つの液量範囲のうちのいずれの範囲にあるかを表す処理液量検出信号を出力する処理液量検出手段と、上記処理液量検出信号に基づいて、上記容器内の上記処理液の量が、上記第1の液量範囲にある場合には上記気体排出弁を閉成し、上記第2の液量範囲にある場合には上記気体排出弁を開成し、上記第3の液量範囲にある場合には上記圧送手段の破損を検知したことを示す破損検知信号を出力する制御部とを備えたことを特徴とする基板処理装置。

IPC (5件)：

H01L 21/304 341 , H01L 21/304 , B08B 3/00 , B08B 13/00 , H01L 21/306

FI (5件)：

H01L 21/304 341 N , H01L 21/304 341 S , B08B 3/00 , B08B 13/00 , H01L 21/306 J

引用特許：

出願人引用 (2件)

洗浄装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-036692 出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン九州株式会社
半導体基板処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-163210 出願人：九州日本電気株式会社

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