保護テープ装着方法および保護テープ装着装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：小野尚純 , 奥貫佐知子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-179444
公開番号（公開出願番号）：特開2006-005131
出願日： 2004年06月17日
公開日（公表日）： 2006年01月05日
要約：

【課題】ウエーハの表面に貼着された保護テープをウエーハの外周より大きく、かつ、ウエーハの外周縁に沿って円弧状に切断することができる保護テープ装着方法および保護テープ装着装置を提供する。【解決手段】ウエーハのW表面に保護テープ12を貼着し、該保護テープ12をウエーハWの外周縁に沿って切断する保護テープ装着方法であって、ウエーハWの表面に保護テープ12を貼着する保護テープ貼着工程と、一側面にウエーハWの外周縁と2点で接触する2点支持スペーサー35を装着したカッター刃331を用い、保護テープ12を介して2点支持スペーサー35をウエーハWの外周縁に当てがいつつカッター刃331をウエーハWの外周縁に沿って移動させ、保護テープ12をウエーハWの外周縁より外側で切断する保護テープ切断工程とを含む。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

ウエーハの表面に保護テープを貼着し、該保護テープをウエーハの外周縁に沿って切断する保護テープ装着方法であって、ウエーハの表面に保護テープを貼着する保護テープ貼着工程と、一側面にウエーハの外周縁と2点で接触する2点支持スペーサーを装着したカッター刃を用い、保護テープを介して2点支持スペーサーをウエーハの外周縁に当てがいつつカッター刃をウエーハの外周縁に沿って移動させ、保護テープをウエーハの外周縁より外側で切断する保護テープ切断工程と、を含む、ことを特徴とする保護テープ装着方法。

IPC (2件)：

H01L 21/683 , H01L 21/301

FI (2件)：

H01L21/68 N , H01L21/78 M

Fターム (5件)：

5F031CA02 , 5F031DA15 , 5F031HA13 , 5F031HA58 , 5F031MA37

引用特許：

出願人引用 (5件)

特許第3325646号公報
特許第3325646号
特開平3-222418

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