特許
J-GLOBAL ID：200903019292233467
ウエハ移載装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木下 茂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-207994
公開番号（公開出願番号）：特開2003-023058
出願日： 2001年07月09日
公開日（公表日）： 2003年01月24日
要約：
【要約】【課題】 ウエハ移載後の熱処理時などにおいてウエハに対する結晶転位の発生を防止し、ウエハ品質上の信頼性を高める。【解決手段】 ウエハホルダHおよび半導体ウエハWを保持する重ね合わせステージ10を把持手段4の移動領域内に配設し、この重ね合わせステージ10におけるウエハ・ホルダ保持状態において、ウエハWがウエハホルダHのウエハ重ね合わせ面から上方に離間する位置に配置されていることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
ホルダ入出ポートにおけるホルダキャリアからウエハホルダを取り出すと共に、ウエハ入出ポートにおけるウエハキャリアからウエハを取り出し、ウエハボート外で前記ウエハホルダ上に前記ウエハを重ね合わせてウエハボート内に移載するウエハ移載装置であって、前記ウエハ移載装置の把持手段の移動領域内に前記ウエハおよび前記ウエハホルダを保持する、重ね合わせステージを配設し、前記重ね合わせステージにおいて、前記ウエハが前記ウエハホルダの上方に離間する位置に配置され、前記ウエハホルダの下方から把持手段を上昇させることにより、ウエハとウエハホルダとを重ね合わせ、前記重ね合わせた状態でウエハとウエハホルダとをウエハボート内に収納することを特徴とするウエハ移載装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B65G 49/07
, H01L 21/22 511
H01L 21/68 A
, B65G 49/07 E
, H01L 21/22 511 J
5F031CA02
, 5F031DA01
, 5F031DA09
, 5F031FA15
, 5F031GA02
, 5F031GA06
, 5F031GA07
, 5F031GA13
, 5F031GA45
, 5F031MA15
, 5F031MA30
, 5F031PA23
