特許
J-GLOBAL ID：200903019301223666
ターボ形ドライポンプ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西岡 義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-016958
公開番号（公開出願番号）：特開2001-207992
出願日： 2000年01月26日
公開日（公表日）： 2001年08月03日
要約：
【要約】【課題】 動圧ガス軸受を大形化することなく、しかも軸受の冷却系を設ける必要もないターボ形ドライポンプを提供する。【解決手段】 ターボ形ポンプ機構の吸気口1K側と排気口1H側をポンプハウジング1の外方にて連通させる連通路7を設けるとともに、この連通路に通路を開閉する開閉弁8を介設したものである。したがって、この開閉弁8を作動させてターボ形ポンプ機構前後の差圧を所定以上にならないよう調整することができる。また、この開閉弁を調節弁8Vとして構成するとともに、ターボ形ポンプ機構の主体であるロータ2の回転を制御するインバータ回路11からの出力信号に基づいて前記調節弁8Vを駆動させる駆動機構16を設けたものである。したがって、ロータ2の回転速度に応じて連通路の開閉が自動的に行われ、ロータ2へのアキシャル方向負荷をフォイル軸受5の許容負荷以内に調整することができる。
請求項（抜粋）：
円筒状のハウジング内に動圧ガス軸受を介して回転体を軸着するとともにこの回転体の円周部と前記ハウジングの内周に形成したステータとの間でガス圧縮のポンプ作用を行う円周流ポンプを前記回転体の軸方向に多段に設け、ハウジングの軸方向一端側の吸気口からのガスを圧縮しハウジングの軸方向他端側の排気口に排出するようにしたターボ形ドライポンプにおいて、前記多段の円周流ポンプにおける前記吸気口側と排気口側を前記ハウジングの外方にて連通させる連通路を設けるとともに、この連通路に通路を開閉する開閉弁を介設したことを特徴とするターボ形ドライポンプ。
Fターム (7件)：
3H031DA02
, 3H031EA02
, 3H031EA15
, 3H031FA14
, 3H031FA15
, 3H031FA37
, 3H031FA38
