磁気力顕微鏡

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：林敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-047016
公開番号（公開出願番号）：特開平6-258289
出願日： 1993年03月08日
公開日（公表日）： 1994年09月16日
要約：

【要約】【目的】試料と強磁性探針間に働く力を検出して磁気力像を得るときに、試料と強磁性探針間に異なる2種の直流電圧を走査線毎に交互に印加することで、試料表面形状の影響を受けない磁気力像を測定することを目的とする。【構成】上記の磁気力顕微鏡において、大きな直流電圧を印加したときは、試料と強磁性探針が離れ、磁気力と表面凹凸が合成されたデータを得ることになる。また一方、小さな直流電圧を印加すると、試料と強磁性探針が接近するため、2原子間に働くVan der Waals 力のみになる。この力力を検出して測定したデータは磁気力の影響を受けない表面凹凸データとなる。前述の磁気力と表面凹凸が合成されたデータから、後述の表面凹凸データをディジタル演算で差し引くことで、表面凹凸分布の影響を受けない磁気力分布像を構成することができる。

請求項（抜粋）：

強磁性材料よりなる先端が鋭利な探針と、前記探針を端部に固定し、前記探針先端が試料表面より受ける力を変位に変換する板バネと、前記板バネに固定された前記板バネを振動させるためのバイモルフ型圧電素子と、前記バイモルフ型圧電素子に交流電圧を印加する交流電圧印加手段と、前記板バネの探針取り付け面に対して裏面にレーザ光を照射する半導体レーザと、前記板バネの裏面にて反射したレーザ光を検出する光検出器と、前記板バネに対し前記試料を三次元に相対運動させる微動機構と、前記バイモルフ型圧電素子に印加した印加電圧と外印加電圧の周波数の交流変調波を検出する交流変調波検出手段と、前記試料と前記板バネとの間に直流電圧を印加する直流電圧印加手段と、前記試料と前記板バネ間の距離を制御する距離制御手段と、前記距離制御手段からの距離制御信号をディジタル変換するデジタル変換手段と、前記ディジタル信号を画像化する表示手段からなる磁気力顕微鏡において、前記試料と前記強磁性探針間に2通り以上の直流電圧を印加することで、試料表面の凹凸の影響を受けない磁気力像を測定できることを特徴とする磁気力顕微鏡。

引用特許：

出願人引用 (12件)

特開平4-296681
特許第3117304号
特許第2837083号

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審査官引用 (2件)

特開平4-296681
特開平4-296681

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