バルク音響波装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：津軽進 (外2名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-504018
公開番号（公開出願番号）：特表2003-536341
出願日： 2001年06月07日
公開日（公表日）： 2003年12月02日
要約：

【要約】本バルク音響波装置は多数の共振器エレメント(14)を有し、これら共振器エレメントは、1つの共振器エレメント(141)に当該装置の共振周波数で印加される信号(26)が共振器エレメント(14)の圧電層の間の音響的結合により他の共振器エレメント(142、143、144)に結合されるように、横方向に離隔されている。2つの外側共振器エレメント(141、145)と、少なくとも1つの内側共振器エレメント(142、143、144)とが存在する。内側共振器エレメントの端子は電気的に一緒に接続されている。この接続はAC短絡をもたらし、該AC短絡は、入力及び出力上側電極間の寄生容量を低減することにより、内側共振器エレメントの寄生容量の影響を除去すると共に、当該装置の入力と出力との間の電磁的遮蔽を提供する。

請求項（抜粋）：

バルク音響波装置において、基板上に形成された1以上の音響反射器層と、前記音響反射器層又は複数の反射器層上に形成された下側電極と、前記下側電極上に形成された圧電層と、前記圧電層上に形成された少なくとも3つの上側電極と、を有し、前記上側電極の各々は前記下側電極と少なくとも部分的に重なり、且つ、下に位置する圧電層部分及び前記下側電極と共に共振器エレメントを規定し、前記上側電極は、前記上側電極の1つと前記下側電極との間に当該装置の共振周波数で印加される信号が前記圧電層部分の間の音響的結合により他の共振器エレメントに結合されるように、横方向に離隔され、前記上側電極は2つの外側上側電極と少なくとも1つの内側上側電極とが存在するように配置され、前記又は各内側上側電極が前記下側電極と電気的に接続されていることを特徴とするバルク音響波装置。

IPC (3件)：

H03H 9/54 , H03H 3/02 , H03H 9/17

FI (3件)：

H03H 9/54 Z , H03H 3/02 B , H03H 9/17 E

Fターム (10件)：

5J108AA07 , 5J108BB04 , 5J108BB07 , 5J108BB08 , 5J108CC04 , 5J108CC11 , 5J108DD01 , 5J108FF01 , 5J108KK07 , 5J108MM11

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平2-113616
薄膜音響共振子用共振音響アイソレータ
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-273246 出願人：ロックウェル・インターナショナル・コーポレイション
集積型弾性波薄膜共振器
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-257524 出願人：テキサスインスツルメンツインコーポレイテツド

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