特許
J-GLOBAL ID：200903019313412952
直進動作ロボット
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
酒井 宏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-004967
公開番号（公開出願番号）：特開平10-199959
出願日： 1997年01月14日
公開日（公表日）： 1998年07月31日
要約：
【要約】【課題】 装置全体を大型化および部品点数を増加することなく、少ない空気吸引流量をもってロボット本体内部よりの塵埃の放出を効果的に抑制すること。【解決手段】 塵埃吸引方式のクリーン直進動作ロボットにおいて、スリット状空隙23の外側に、このスリット状空隙23に連続するラビリンス流路53を設ける。
請求項（抜粋）：
上方が開放された横転コの字形断面の長方体状のフレーム基台内に搬送台が直進移動可能に設けられ、前記フレーム基台内に前記搬送台の直進移動の駆動機構を有し、フレーム基台の上方開放部が搬送台の直進移動方向に長いスリット状空隙を有するカバープレートにより閉じられ、前記搬送台のスリット状空隙を前記搬送台の頂部が貫通して外部に露呈し、フレーム基台内が外部への塵埃放出防止のために負圧状態に保たれる直進動作ロボットにおいて、スリット状空隙の外側に、当該スリット状空隙に連続するラビリンス流路が設けられていることを特徴とする直進動作ロボット。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 A
, B65G 49/07 C
