明暗検査装置および明暗検査方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石戸元 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-205251
公開番号（公開出願番号）：特開2000-036033
出願日： 1998年07月21日
公開日（公表日）： 2000年02月02日
要約：

【要約】【課題】面積の小さな欠陥から大きな欠陥まで、さまざまな大きさの欠陥を有する被検査物であっても、一つの光学系により、見落とすことなく欠陥を検出することができ、もって、信頼性が高く、高コストを招くこともない明暗検査装置を得る。【解決手段】被検査物2をその幅方向Wにわたり撮像し、被検査物2の幅方向における所定位置について得られる撮像データを所定数だけ加算して射影データを演算し、射影データに対して平滑化処理と正規化処理を行って、被検査物2の幅方向についての背景明度を演算し、演算された背景明度を撮像データから差し引くことにより、撮像データから被検査物2における幅方向の背景明度変動を除去する。

請求項（抜粋）：

一定の幅を有し一方向に移動する被検査物を撮像し、その撮像データに基づいて、前記被検査物の明暗を検査する明暗検査装置であって、前記被検査物をその幅方向全域にわたり撮像する撮像装置と、前記撮像装置により得られる前記被検査物の幅方向における所定位置の撮像データを所定数だけ加算して射影データを演算する射影演算部と、前記射影演算部により得られる前記射影データに基づいて、前記被検査物の幅方向についての背景明度を演算する背景明度演算部と、前記背景明度演算部により得られた背景明度を前記撮像装置より得られる撮像データから差し引くことにより、撮像データから幅方向の背景明度変動を除去する差分演算部とを備えてなる明暗検査装置。

IPC (4件)：

G06T 1/00 , G01N 21/89 , G06T 7/00 , H04N 7/18

FI (4件)：

G06F 15/64 400 C , G01N 21/89 A , H04N 7/18 B , G06F 15/62 400

Fターム (40件)：

2G051AA32 , 2G051AB01 , 2G051AB02 , 2G051CA03 , 2G051DA06 , 2G051EA08 , 2G051EA11 , 2G051EA12 , 2G051EA14 , 2G051EA16 , 2G051EA23 , 2G051EB01 , 2G051EC03 , 2G051EC05 , 2G051EC10 , 2G051ED03 , 5B047AA30 , 5B047AB02 , 5B047BA01 , 5B047BB02 , 5B047DB01 , 5B057AA20 , 5B057BA02 , 5B057BA29 , 5B057CA02 , 5B057CA08 , 5B057CA16 , 5B057CB02 , 5B057CB08 , 5B057CB11 , 5B057CB16 , 5B057CC03 , 5B057CE05 , 5B057DA03 , 5B057DC22 , 5C054EJ03 , 5C054EJ05 , 5C054FC16 , 5C054FD00 , 5C054HA05

引用特許：

審査官引用 (9件)

特開平4-175712
特開昭60-246176
欠陥検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-286172 出願人：キヤノン株式会社

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