特許

J-GLOBAL ID：200903019393475267

インクジェットヘッドおよびその形成方法、並びに、被膜およびその形成方法

発明者： 渡辺 英生
出願人/特許権者： コニカ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-122058
公開番号（公開出願番号）：特開2003-019797
出願日： 2002年04月24日
公開日（公表日）： 2003年01月21日
要約：

【要約】【課題】基体との密着性及び耐久性が極めて優れたパリレン膜、及びパリレン膜形成方法、並びにそのパリレン膜を用いたインクジェットヘッドを提供する。【解決手段】 基体の表面上に形成されるパリレン膜であって、パリレン膜中にシランカップリング剤を含有させた。また、基体の表面上にパリレン膜を形成するパリレン膜形成方法は、シランカップリング剤の蒸気雰囲気下、又は、シランカップリング剤を供給し一部が気化した状態で、気相合成法によりパリレン膜を形成した。また、圧電性基体2上に電極5を設けた可動壁と、他の壁を形成する部材(蓋部材)3とでインクチャネル4を構成し、電極5に電圧を印加してインクチャネル4からインクを吐出するインクジェットヘッドであって、少なくとも電極5を、シランカップリング剤を含有させたパリレン膜の保護膜6で被覆した。

請求項（抜粋）：

インクチャネル内に電極を有するインクジェットヘッドにおいて、前記インクチャネルを構成する基体に、前記電極を被覆するようにシランカップリング剤を含有するポリパラキシリレンまたはその誘導体を有する被膜を設けたことを特徴とするインクジェットヘッド。

IPC (8件)：

B41J 2/045 ,  B05B 1/02 ,  B05D 3/10 ,  B05D 5/12 ,  B05D 7/24 302 ,  B05D 7/24 303 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16

FI (7件)：

B05B 1/02 ,  B05D 3/10 Z ,  B05D 5/12 D ,  B05D 7/24 302 Y ,  B05D 7/24 303 B ,  B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H

Fターム (31件)：

2C057AF66 ,  2C057AF70 ,  2C057AF93 ,  2C057AG44 ,  2C057AG45 ,  2C057AG99 ,  2C057AP01 ,  2C057AP53 ,  2C057AQ02 ,  2C057AQ03 ,  2C057AQ10 ,  2C057BA03 ,  2C057BA14 ,  4D075BB85Y ,  4D075CA13 ,  4D075CA23 ,  4D075CA40 ,  4D075CA44 ,  4D075CA47 ,  4D075DA06 ,  4D075DC27 ,  4D075EA60 ,  4D075EB11 ,  4D075EC45 ,  4D075EC54 ,  4F033AA14 ,  4F033BA03 ,  4F033CA01 ,  4F033DA01 ,  4F033EA01 ,  4F033NA01

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭50-022300
  
• 圧電セラミック素子及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-248321   出願人：コニカ株式会社
• 有機材料コーティング方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-226261   出願人：富士電機株式会社