特許
J-GLOBAL ID：200903084384032804
圧電セラミック素子及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-248321
公開番号（公開出願番号）：特開2000-071451
出願日： 1998年09月02日
公開日（公表日）： 2000年03月07日
要約：
【要約】【課題】 圧電性セラミック基体上に形成された電極膜を保護する新規な絶縁膜の形成方法により信頼性の高い圧電性セラミック素子を提供することにあり、信頼性の高いインクジェットヘッドを提供することにある。【解決手段】 駆動電極の保護膜がポリパラキシリレン又はその誘導体からなる複数の樹脂皮膜を有する事を特徴とする圧電セラミック素子及び駆動電極の保護膜を上記樹脂皮膜により形成する事を特徴とする上記圧電セラミック素子の製造方法。
請求項（抜粋）：
駆動電極の保護膜がポリパラキシリレン又はその誘導体からなる複数の樹脂皮膜を有する事を特徴とする圧電セラミック素子。
IPC (3件)：
B41J 2/045
, B41J 2/055
, B41J 2/16
B41J 3/04 103 A
, B41J 3/04 103 H
2C057AF66
, 2C057AF93
, 2C057AG44
, 2C057AP02
, 2C057AP11
, 2C057AP52
, 2C057AP53
, 2C057AP54
, 2C057AP56
, 2C057AP59
, 2C057BA03
, 2C057BA14
