特許
J-GLOBAL ID：200903019562368149
長尺状搬送物の加工方法及び装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-261388
公開番号（公開出願番号）：特開2008-083244
出願日： 2006年09月26日
公開日（公表日）： 2008年04月10日
要約：
【課題】微小異物が長尺状搬送物に付着することを防止し、且つ、長尺状搬送物の加工条件等を変更した場合にクリーンルームの風量調整が不要な長尺状搬送物の加工方法及び装置を提供する。【解決手段】加工装置10は、開口部16を介して連通される連続した複数のクリーンルーム12a〜12gと、その内部に設けられる光学補償シート製造ライン14と、複数のクリーンルーム12a〜12gの内部に配置され、透明シート30にエアを吹きつけて非接触で支持する非接触搬送装置42と、クリーンルーム12a〜12gの外部に配置される送風機48と、送風機48の送気口を非接触搬送装置42に接続する送気ライン50と、送風機48の取入口を非接触搬送装置42が設置されたクリーンルーム12a〜12gに接続する吸引ライン52と、を備える。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
連続した複数のクリーンルーム間で長尺状搬送物を搬送して加工するとともに、前記複数のクリーンルームのうちの少なくとも一つのクリーンルームの内部で非接触搬送装置から前記長尺状搬送物にエアを吹きつけることによって非接触で浮上支持する長尺状搬送物の加工方法において、
前記非接触搬送装置にエアを送気する送風機を前記クリーンルームの外部に設置し、
該送風機は、前記非接触搬送装置が設置されたクリーンルームからエアを吸引することを特徴とする長尺状搬送物の加工方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (23件)：
2H049BA02
, 2H049BA06
, 2H049BA42
, 2H049BB03
, 2H049BB51
, 2H049BC01
, 2H049BC04
, 2H049BC14
, 2H049BC22
, 2H091FA08X
, 2H091FA08Z
, 2H091FA11X
, 2H091FA11Z
, 2H091FA12X
, 2H091FA12Z
, 2H091FB02
, 2H091FC07
, 2H091FD06
, 2H091GA00
, 2H091HA07
, 2H091LA07
, 2H091LA12
, 2H091LA30
