特許

J-GLOBAL ID：200903019572690820

精密基板用の固定治具及びその使用方法

発明者： 小田嶋 智 ,  細野 則義
出願人/特許権者： 信越ポリマー株式会社
代理人 (3件)： 藤本 英介 ,  神田 正義 ,  宮尾 明茂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-027910
公開番号（公開出願番号）：特開2006-216775
出願日： 2005年02月03日
公開日（公表日）： 2006年08月17日
要約：

【課題】 割れやすく反りやすい精密基板を適切に輸送することのできる精密基板用の固定治具及びその使用方法を提供する。【解決手段】 フロントオープンボックスタイプの基板収納容器に収納される基板20と、基板20に積層され、バックグラインドされた300mmタイプの半導体ウェーハ30を着脱自在に密着保持する密着層25とを備える。そして、基板20の表面から密着層25に被覆される複数の突起21を突出させてこれら密着層25と複数の突起21との間には区画空間22を形成し、基板20には、区画空間22に連通する半導体ウェーハ30用の取り外し孔23を穿孔する。割れやすく、反りやすい半導体ウェーハ30を容器本体に直接収納するのではなく、固定治具に密着保持させて収納するので、他の工場に安全、かつ適切に輸送できる。【選択図】 図9

請求項（抜粋）：

基板収納容器に収納される基材と、この基材に積み重ねられて精密基板を着脱自在に密着保持する密着層とを含んでなる精密基板用の固定治具であって、 基材から密着層に被覆される複数の突起を突出させてこれら密着層と複数の突起との間には区画空間を形成し、基材に、区画空間に連なる精密基板用の取り外し孔を設けたことを特徴とする精密基板用の固定治具。

IPC (2件)：

H01L 21/673 ,  B65D 85/86

FI (2件)：

H01L21/68 T ,  B65D85/38 R

Fターム (29件)：

3E096AA06 ,  3E096BA16 ,  3E096BB04 ,  3E096CA02 ,  3E096CA09 ,  3E096CB03 ,  3E096DA05 ,  3E096DA23 ,  3E096DB07 ,  3E096EA02X ,  3E096EA02Y ,  3E096FA09 ,  3E096FA10 ,  3E096FA16 ,  3E096FA40 ,  3E096GA04 ,  3E096GA05 ,  3E096GA07 ,  3E096GA09 ,  5F031CA02 ,  5F031DA01 ,  5F031DA09 ,  5F031EA01 ,  5F031EA06 ,  5F031EA10 ,  5F031EA11 ,  5F031EA19 ,  5F031FA01 ,  5F031PA20

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 特開昭59-227195号公報
  

審査官引用 (3件)

• 基板保持装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-348219   出願人：レーザーテック株式会社
• 特開平4-152512
  
• 露光装置およびデバイス製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-303328   出願人：キヤノン株式会社