特許

J-GLOBAL ID：200903019590540275

アクティブ素子アレイ基板及びその製造方法

発明者： 廣瀬 貴司 ,  坪井 伸行 ,  田村 達彦
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 岡本 宜喜
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-168112
公開番号（公開出願番号）：特開2000-002887
出願日： 1998年06月16日
公開日（公表日）： 2000年01月07日
要約：

【要約】【課題】 クロストークや光漏れ等の特性劣化なしに、開口率の高いアクティブ素子アレイ基板及びその製造方法を実現すること。【解決手段】 アクティブ素子基板において、チャネル層12及びコンタクト層14の上部に低反射層2aを形成し、その上に最上層ソース配線6bを設ける。レジスト9に対してフォトマスク開口部20aを介して高エネルギーの透過光21aを露光し、レジスト露光部9cを形成する。このとき、配線部からの反射光は少なくなり、レジスト露光部9cのパターン形状は過露光によっても拡大しなくなる。この後、画素電極材料8aをエッチングし、画素電極を形成する。こうすると、アクティブ素子部の開口率が向上し、実装端子間のショートの原因となる実装端子近傍での画素電極の残渣を解消することができる。

請求項（抜粋）：

2枚の基板間に挟持された液晶セルを、マトリクス状に形成された各スイッチング素子により駆動し、各画素データを表示する液晶パネルに用いられるアクティブ素子アレイ基板であって、前記スイッチング素子が形成されるアクティブ素子部、前記スイッチング素子の信号電極を引き出す配線部、前記配線部を液晶パネル外の外部回路と結合する実装端子部を一体に保持し、前記液晶パネルの片面となる基板と、前記基板のアクティブ素子部に形成され、信号電極と駆動電極とを含むアクティブ素子層と導体層とを有し、前記液晶セルに対して駆動電圧のスイッチングを行うアクティブ素子と、前記各アクティブ素子間の間隙、及び前記各アクティブ素子の上層に形成され、前記アクティブ素子の駆動電極と連通するコンタクトホールを有する層間絶縁膜と、前記層間絶縁膜の上面に形成され、前記コンタクトホールを介して前記各アクティブ素子の駆動電極と結合され、前記液晶セルに対して駆動電圧を与える透明導体からなる画素電極と、前記基板の配線部に対してライン状に形成され、前記各アクティブ素子層の少なくとも信号電極及び駆動電極と同一の層が成膜された下地層、及び前記アクティブ素子の導体層と同一の導体を用いて前記下地層の上部に形成された導体層を有する配線層と、前記基板の実装端子部に成膜され、前記配線層を通じ前記アクティブ素子と接続した複数の実装端子と、を具備し、前記配線層における下地層の光反射率を前記導体層の光反射率より低く、前記導体層のパターン幅を前記下地層のパターン幅より狭くすると共に、前記画素電極は、少なくとも前記配線層の上部において隣り合うものであることを特徴とするアクティブ素子アレイ基板。

IPC (3件)：

G02F 1/136 500 ,  H01L 29/786 ,  H01L 21/336

FI (2件)：

G02F 1/136 500 ,  H01L 29/78 612 Z

Fターム (46件)：

2H092JA26 ,  2H092JA29 ,  2H092JA33 ,  2H092JA35 ,  2H092JA38 ,  2H092JA39 ,  2H092JA42 ,  2H092JA43 ,  2H092JA44 ,  2H092JA46 ,  2H092JB01 ,  2H092JB13 ,  2H092JB23 ,  2H092JB27 ,  2H092JB32 ,  2H092JB36 ,  2H092JB51 ,  2H092JB56 ,  2H092JB63 ,  2H092JB69 ,  2H092KA05 ,  2H092KA07 ,  2H092KA16 ,  2H092KA18 ,  2H092KB05 ,  2H092KB14 ,  2H092MA05 ,  2H092MA08 ,  2H092MA14 ,  2H092MA15 ,  2H092MA16 ,  2H092MA18 ,  2H092MA19 ,  2H092MA20 ,  2H092MA22 ,  2H092MA27 ,  2H092MA35 ,  2H092MA37 ,  2H092MA41 ,  2H092NA01 ,  2H092NA07 ,  2H092NA16 ,  2H092NA25 ,  2H092NA27 ,  2H092NA29 ,  2H092PA06

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 半導体集積回路装置の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-173030   出願人：株式会社日立製作所
• 液晶表示装置およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-285285   出願人：ソニー株式会社
• 半導体装置の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-353473   出願人：セイコーエプソン株式会社