特許
J-GLOBAL ID：200903019608572129
レジスト除去装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-039052
公開番号（公開出願番号）：特開平8-213309
出願日： 1995年02月02日
公開日（公表日）： 1996年08月20日
要約：
【要約】【目的】 粘着シートを用いてのレジスト除去装置において、半導体基板などの物品上のレジスト膜を簡単確実に剥離除去できるようにする【構成】 レジストパターンが存在する物品上に粘着シートを貼付け、前記粘着シートを剥離することによって前記物品表面のレジストを除去する装置において、前記物品表面のレジストの密着性を低下させるための前処理機構13と、この前処理機構13で前処理された後の前記物品の表面に粘着シートを貼付ける粘着シート貼付け機構8と、貼付けられた前記粘着シートを前記物品表面から剥離する粘着シート剥離機構9とを備える。
請求項（抜粋）：
レジストパターンが存在する物品上に粘着シートを貼付け、前記粘着シートを剥離することによって前記物品表面のレジストを除去する装置であって、前記物品表面のレジストの密着性を低下させるための前処理機構と、該前処理機構で前処理された後の前記物品の表面に粘着シートを貼付ける粘着シート貼付け機構と、貼付けられた前記粘着シートを前記物品表面から剥離する粘着シート剥離機構とを備えたことを特徴とするレジスト除去装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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