特許
J-GLOBAL ID：200903019646993006
検査方法、磁気ヘッドの検査方法および装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
宮井 暎夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-143938
公開番号（公開出願番号）：特開平11-337500
出願日： 1998年05月26日
公開日（公表日）： 1999年12月10日
要約：
【要約】【課題】非平面形状を有する磁気ヘッドの表面の欠陥を見逃すことのないように検査面全面で焦点のあった画像を得ることができる検査方法、磁気ヘッドの検査方法および装置を提供する。【解決手段】磁気ヘッド1を設置する設置工程と、拡大レンズ3の光軸方向に、拡大レンズ3の焦点深度以内の距離間隔で複数回移動する移動工程と、移動ごとに磁気ヘッド1の画像を撮像し、記憶装置に記憶する画像蓄積工程と、この画像蓄積工程により得られた複数枚の画像において、注目する画素における輝度値が最も高い値を、注目する画素における輝度値とする検査画像を合成する画像作成工程と、検査画像から欠陥を検出する欠陥検出工程とを含んでいる。
請求項（抜粋）：
非平面形状を有する検査面と拡大光学手段の相対位置を前記拡大光学手段の光軸方向に前記拡大光学手段の焦点深度以内の距離間隔で複数回移動する移動工程と、この移動工程による移動ごとに前記検査面の画像を撮像し記憶装置に記憶する画像蓄積工程と、前記記憶装置に記憶された複数枚の画像から前記検査面の検査画像を合成する画像作成工程と、前記検査画像から欠陥を検出する欠陥検出工程とを含む検査方法。
IPC (4件)：
G01N 21/88
, G06T 7/00
, G11B 5/455
, H04N 7/18
G01N 21/88 Z
, G11B 5/455 Z
, H04N 7/18 B
, G06F 15/62 400
