窒化珪素焼結体およびその製造方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-066858
公開番号（公開出願番号）：特開2005-255430
出願日： 2004年03月10日
公開日（公表日）： 2005年09月22日
要約：

【課題】モジュール用基板や構造部材等として好適な窒化珪素焼結体およびその製造方法を提供する。【解決手段】粒強度が0.6〜0.8MPaでかつ平均粒径20〜30μmの窒化珪素顆粒(顆粒A)と、粒強度が0.2〜0.5MPaでかつ平均粒径70〜90μmの窒化珪素顆粒(顆粒B)を混合し、プレス成形により相対密度65%以上の窒化珪素プレス体を成形した後、焼結処理を施して、モジュール用基板や構造部材等として好適な窒化硅素焼結体を製造する。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

粒強度が0.6〜0.8MPaかつ平均粒径20〜30μmの窒化珪素顆粒(顆粒A)と、粒強度が0.2〜0.5MPaでかつ平均粒径70〜90μmの窒化珪素顆粒(顆粒B)を混合し、プレス成形を行って、相対密度65%以上の窒化珪素プレス体を成形した後、焼結処理を施して得られる窒化珪素焼結体。

IPC (2件)：

C04B35/626 , H01L23/15

FI (2件)：

C04B35/58 102Q , H01L23/14 C

Fターム (24件)：

4G001BA09 , 4G001BA32 , 4G001BA71 , 4G001BA73 , 4G001BB09 , 4G001BB32 , 4G001BC01 , 4G001BC13 , 4G001BC17 , 4G001BC22 , 4G001BC24 , 4G001BC34 , 4G001BC42 , 4G001BC52 , 4G001BC54 , 4G001BC62 , 4G001BD03 , 4G001BD14 , 4G001BD23 , 4G001BD38 , 4G001BE11 , 4G001BE22 , 4G001BE32 , 4G001BE33

引用特許：

出願人引用 (2件)

特開平1-145380号公報
特開平3-174364号公報

審査官引用 (10件)

セラミック長尺体の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-033862 出願人：日本碍子株式会社
窒化アルミニウム焼結体およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-324809 出願人：電気化学工業株式会社
大型窒化アルミニウム焼結体及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-256875 出願人：株式会社トクヤマ

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