特許

J-GLOBAL ID：200903035187827519

大型窒化アルミニウム焼結体及びその製造方法

発明者： 廣川 清章 ,  若松 哲夫 ,  谷口 人文
出願人/特許権者： 株式会社トクヤマ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-256875
公開番号（公開出願番号）：特開平10-101438
出願日： 1996年09月27日
公開日（公表日）： 1998年04月21日
要約：

【要約】【課題】 高純度、高密度で且つ外観及び熱伝導率の均質性に優れた大型窒化アルミニウム焼結体とその製造方法を提供する。【解決手段】 表面の色差値(△E)が1.5以下であり、且つ、平均熱伝導率が80W/m・K以上、熱伝導率の標準偏差が2W/m・K以下である大型窒化アルミニウム焼結体であり、該焼結体は、平均粒径が40〜50μmの窒化アルミニウム顆粒(A)と平均粒径が90〜120μmの窒化アルミニウム顆粒(B)とを重量比で(A)/(B)=1/10〜1/2の範囲で含む顆粒混合物を成形して相対密度が50〜62%の窒化アルミニウムプレス体を焼成することによって製造される。

請求項（抜粋）：

全表面積が350cm2以上、または、最大長が150mm以上の窒化アルミニウム焼結体であって、表面の色差値(△E)が1.5以下であり、且つ、平均熱伝導率が80W/m・K以上、熱伝導率の標準偏差が2W/m・K以下であることを特徴とする大型窒化アルミニウム焼結体。

IPC (2件)：

C04B 35/626 ,  H01L 23/373

FI (2件)：

C04B 35/58 104 R ,  H01L 23/36 M

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 窒化アルミニウム焼結体およびその製法、並びにそれを用いた焼成用治具
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-107101   出願人：京セラ株式会社
• 窒化アルミニウム焼結体の製造方法及び窒化アルミニウム 焼結体
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-260901   出願人：日立金属株式会社