特許
J-GLOBAL ID:200903019672010550

高出力レーザビーム用空間フィルタ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 柳田 征史 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-147545
公開番号(公開出願番号):特開平11-052299
出願日: 1998年05月28日
公開日(公表日): 1999年02月26日
要約:
【要約】【課題】 ハイパワーレーザビーム用の空間フィルタを提供し、その空間フィルタを用いて良質なレーザビームを生成し、良質なグレーティングの作製方法を提供する。【解決手段】 光発散部材からなる空間フィルタにおいて、フーリエ変換されたレーザビームの外周部に存在する不要な高次空間周波数成分を、フーリエ変換されたレーザビームの内周部に存在する必要な低次空間周波数成分から非吸収的に発散させることにより、高いパワー密度のレーザビームにも耐えうる空間フィルタを提供する。さらに、それにより空間フィルタリングされた良質なレーザビームを使用することにより、良質なグレーティングを形成できる。
請求項(抜粋):
光発散部材からなることを特徴とするレーザビーム空間フィルタ。
IPC (4件):
G02B 27/46 ,  G02B 5/18 ,  G02B 6/00 301 ,  G02B 6/10
FI (4件):
G02B 27/46 ,  G02B 5/18 ,  G02B 6/00 301 ,  G02B 6/10 C
引用特許:
審査官引用 (9件)
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