固体撮像装置及びその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：前田弘 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-099730
公開番号（公開出願番号）：特開平9-022995
出願日： 1996年04月22日
公開日（公表日）： 1997年01月21日
要約：

【要約】【課題】受光部に効率よく集光できるマイクロレンズを形成することができる、固体撮像装置の製造方法を提供する。【解決手段】マイクロレンズを形成する工程において、まず、第2の平坦化層15の上にレンズレジスト10aを塗布し、レンズマスク18を用いて露光及び現像処理を行いレンズパターン10bを形成する。UV光を照射して透過性を向上させた後、加熱して半球状のマイクロレンズ10cを形成する。このとき、加熱温度をレンズパターン10bが完全に溶解する温度よりも低くすることによりレンズパターン10bが流れ出すことはなく、マイクロレンズ10cのスペースS2 は、レンズパターン10bのスペースS1 と同じ大きさとなる。

請求項（抜粋）：

入射された光を電荷に変換する受光部と、前記受光部に光を集めるマイクロレンズとを備えた固体撮像装置において、前記マイクロレンズの底面は方形状であり、前記マイクロレンズの高さは、該マイクロレンズの底面の短辺の半分以上であることを特徴とする固体撮像装置。

IPC (3件)：

H01L 27/14 , G02B 3/00 , H01L 31/10

FI (3件)：

H01L 27/14 D , G02B 3/00 A , H01L 31/10 A

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平4-073701
特開平4-074471
特開平4-074470

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