特許
J-GLOBAL ID：200903019741811411

機能性素子基板の製造装置

発明者：
関谷 卓朗

関谷 卓朗 について


出願人/特許権者：
株式会社リコー

株式会社リコー について


代理人 (1件)： 高野 明近
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-173635
公開番号（公開出願番号）：特開2005-000914
出願日： 2004年06月11日
公開日（公表日）： 2005年01月06日
要約：
【課題】基板上に、機能性素子を形成するための噴射ヘッドを有する新規な製造装置を提供するとともに、噴射ヘッドの目詰まりがなく安定した稼動できるようにする。【解決手段】噴射ヘッド11より、基板14上に機能性材料を含有する溶液の液滴を噴射付与し、該溶液中の揮発成分を揮発させ、固形分を基板14上に残留させることによって機能性素子基板を製造する。噴射ヘッド11に供給される溶液は噴射ヘッド11とは独立に設けられた容器71に貯留され、該容器71と前記噴射ヘッド11とは可撓性の供給路15を介して連結されるとともに、前記容器71より下流側に少なくとも2種類のフィルター83,84を有し、最下流に設けたフィルター84は着脱不可に固定されている。【選択図】図38
請求項（抜粋）：
所定の駆動信号を入力することにより機能を発する機能性素子群が、基板上に機能性材料を含有する溶液の液滴を噴射付与し、該溶液中の揮発成分を揮発させ、固形分を前記基板上に残留させることによって形成される機能性素子基板の製造装置において、前記基板に相対する位置に配され、該基板に対して機能性材料を含有した溶液を噴射する噴射ヘッドと、該噴射ヘッドに液滴付与情報を入力する情報入力手段とを有し、前記基板における前記機能性素子群の形成面と前記噴射ヘッドの溶液噴射口面とが一定の距離を保持し、前記基板と前記噴射ヘッドとが前記機能性素子群の形成面に対して平行に相対移動を行うように構成され、前記噴射ヘッドは、前記情報入力手段により入力された前記液滴付与情報に基づいて前記基板の所望の位置に前記溶液を噴射することにより前記機能性素子群を形成する製造装置であって、前記噴射ヘッドに供給される前記溶液は前記噴射ヘッドとは独立に設けられた容器に貯留され、該容器と前記噴射ヘッドとは可撓性の供給路を介して連結されるとともに、前記容器より下流側に少なくとも2種類のフィルターを設け、最下流に設けたフィルターは着脱不可に固定したことを特徴とする機能性素子基板の製造装置。
IPC (1件)：
B05C5/00
FI (4件)：
B05C5/00 101 ,  B41J3/04 101Z ,  B41J3/04 102Z ,  B41J3/04 103A
Fターム (21件)：
2C056EA14 ,  2C056FB01 ,  2C056KB26 ,  2C057AJ01 ,  2C057AM29 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14 ,  3K007AB18 ,  3K007BA06 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01 ,  4F041AA02 ,  4F041AA05 ,  4F041AA16 ,  4F041AB01 ,  4F041BA10 ,  4F041BA13 ,  4F041BA22 ,  4F041BA32 ,  4F041BA38 ,  4F041BA60
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (7件)
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