特許

J-GLOBAL ID：200903019753959635

マイクロポンプとその製造方法

発明者： 佐々木 康彦 ,  吉村 保廣 ,  小出 晃 ,  三宅 亮 ,  渡部 成夫 ,  寺山 孝男 ,  三巻 弘 ,  石田 康彦 ,  盛岡 友成
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-324759
公開番号（公開出願番号）：特開2000-154783
出願日： 1998年11月16日
公開日（公表日）： 2000年06月06日
要約：

【要約】【課題】マイクロポンプを小型化し、かつマイクロポンプの部材と作動流体との化学反応を防いだマイクロポンプ及びその製造方法とそれを用いた装置を提供する。【解決手段】マイクロポンプを形成する部材をシリコン基板として接合する面側全体に金属膜を形成して接合面とした後、接合面を清浄化して、真空中にて接合面を対向させて重ね合わせて加熱かつ加圧して接合する。【効果】マイクロポンプの小型化を可能とする。また、マイクロポンプを形成する部材が作動流体と化学反応を起こし難くする。さらに、フッ素樹脂膜の耐薬品性が向上する。

請求項（抜粋）：

ノズル基板と、前記ノズル基板と一面側が接合されたバルブ基板と、前記バルブ基板の他面側と接合されるチャンバ基板と、前記チャンバ基板の前記バルブ基板と接合された面と反対側の面に接合されるダイアフラム基板とから構成されたマイクロポンプにおいて、前記各基板はシリコンを母材とし、前記各基板の接合部にそれぞれ金属膜を形成し、前記接合部同士を接合して構成したことを特徴とするマイクロポンプ。

Fターム (11件)：

3H077AA08 ,  3H077BB10 ,  3H077CC02 ,  3H077CC09 ,  3H077DD06 ,  3H077EE22 ,  3H077EE34 ,  3H077EE36 ,  3H077FF03 ,  3H077FF36 ,  3H077FF60

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 流体制御装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-178482   出願人：アイシン精機株式会社
• マイクロポンプ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-106260   出願人：沖電気工業株式会社
• マイクロポンプおよびマイクロポンプの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-072270   出願人：セイコーインスツルメンツ株式会社
• 静電容量型半導体圧力センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-106115   出願人：オムロン株式会社

審査官引用 (3件)

• 流体制御装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-178482   出願人：アイシン精機株式会社
• マイクロポンプ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-106260   出願人：沖電気工業株式会社
• マイクロポンプおよびマイクロポンプの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-072270   出願人：セイコーインスツルメンツ株式会社