インダクタンス素子およびその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：京本直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-181350
公開番号（公開出願番号）：特開平9-036312
出願日： 1995年07月18日
公開日（公表日）： 1997年02月07日
要約：

【要約】【目的】インダクタンス素子の小型化を図るとともに共振周波数をより高周波数側にシフトし使用可能周波数帯域を広げる。【構成】第2層配線10が、インダクタンス素子パターンの相互に隣接する導体の間の第2絶縁層14にこれら導体と沿うように形成した溝17を有する。

請求項（抜粋）：

基板の一主面に形成した絶縁層と前記絶縁層上に形成した導体層とを有し、前記導体層が所望のインダクタンス値を持つように予め定めたパターンで形成したインダクタンス部と、前記インダクタンス部を外部回路に接続するリード部とから成るインダクタンス素子において、前記インダクタンス部が、前記パターンの相互に隣接する第1,第2の導体の間の前記絶縁層にこれら第1,第2の導体と沿うように形成した溝を有することを特徴とするインダクタンス素子。

IPC (3件)：

H01L 27/04 , H01L 21/822 , H01F 17/00

FI (2件)：

H01L 27/04 L , H01F 17/00 B

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭63-185055
特開昭63-048856
ノイズ・フィルタ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-358719 出願人：池田毅

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