レーザ装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：神崎真一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-187689
公開番号（公開出願番号）：特開平11-026840
出願日： 1997年06月27日
公開日（公表日）： 1999年01月29日
要約：

【要約】【解決手段】放電管2の内部にフロントミラー3とリヤミラー4とからなるレーザ発振器5を配設している。また、放電管2の内部には、相互に対向させて両マウント7,8を設けてあり、それらにの円周方向に沿って、相互に対向するように複数の反射ミラー(M1-M9、M1’-M9’)を設けている。これら複数の反射ミラーによって増幅器6を構成してあり、上記レーザ発振器5で励起したレーザ光線Lは、増幅器6によって出力を増幅される。【効果】レーザ発振器5と増幅器6は実質的に一体に形成されているので、それらを別個に設けていた従来と比較して、レーザ装置1の設置スペースを小さくすることができる。

請求項（抜粋）：

レーザキャビティ内に対向させて配置したフロントミラーおよびリヤミラーを有するレーザ発振器と、このレーザ発振器から放射されたレーザ光線の出力を増幅させる増幅器とを備えたレーザ装置において、上記フロントミラーおよびリヤミラーの軸心を結ぶ仮想の直線を囲繞し、かつ所定距離を隔てて相互に対向させてフロント側反射手段およびリヤ側反射手段を上記レーザキャビティ内に設けて、これらフロント側反射手段とリヤ側反射手段とによって上記増幅器を構成し、上記レーザ発振器から放射されたレーザ光線を上記フロント側反射手段とリヤ側反射手段とによって交互に複数回反射させて増幅させるように構成したことを特徴とするレーザ装置。

IPC (3件)：

H01S 3/03 , H01S 3/081 , H01S 3/10

FI (3件)：

H01S 3/03 Z , H01S 3/081 , H01S 3/10 Z

引用特許：

審査官引用 (8件)

レーザ発振器
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-269107 出願人：澁谷工業株式会社
特開平4-134890
露光光源用レ-ザ発振装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-200307 出願人：株式会社東芝

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