特許
J-GLOBAL ID：200903019828184138

固体撮像素子及びその製造方法

発明者：
菰口 徹哉

菰口 徹哉 について


出願人/特許権者：
ソニー株式会社

ソニー株式会社 について


代理人 (2件)： 角田 芳末 ,  磯山 弘信
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-362685
公開番号（公開出願番号）：特開2004-193500
出願日： 2002年12月13日
公開日（公表日）： 2004年07月08日
要約：
【課題】本発明は、固体撮像素子において、配線層を多層化した場合や画素を微細化した場合でも、高い集光効率で受光センサ部に光を入射させることができるようにするものである。【解決手段】受光センサ部4上に、高屈折率層15が低屈折率層8中に埋め込まれてなる井戸14が設けられ、井戸14が径の異なる複数の層14A,14Bにより構成され、複数の層のうち互いに隣接する層14A,14Bにおいて、下層14Aの上部径14Adよりも上層14Bの下部径14Bdが小さく形成されてなる固体撮像素子1を構成する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
受光センサ部上に、高屈折率層が低屈折率層中に埋め込まれてなる井戸が設けられ、 前記井戸が径の異なる複数の層により構成され、 前記複数の層のうち互いに隣接する層において、下層の上部径よりも上層の下部径が小さく形成されてなる ことを特徴とする固体撮像素子。
IPC (3件)：
H01L27/14 ,  H01L31/00 ,  H04N5/335
FI (3件)：
H01L27/14 D ,  H04N5/335 U ,  H01L31/00 B
Fターム (25件)：
4M118AA10 ,  4M118AB01 ,  4M118BA10 ,  4M118BA14 ,  4M118CA03 ,  4M118EA01 ,  4M118FA06 ,  4M118GA09 ,  4M118GC07 ,  4M118GD04 ,  5C024CX41 ,  5C024CY47 ,  5C024GX07 ,  5F088BA01 ,  5F088BA20 ,  5F088BB03 ,  5F088CB03 ,  5F088CB14 ,  5F088DA20 ,  5F088EA04 ,  5F088GA03 ,  5F088HA05 ,  5F088HA11 ,  5F088HA20 ,  5F088LA03
引用特許：
審査官引用 (4件)
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