エッチング液

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人池内・佐藤アンドパートナーズ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-355849
公開番号（公開出願番号）：特開2004-190054
出願日： 2002年12月06日
公開日（公表日）： 2004年07月08日
要約：

【課題】ニッケル、クロム若しくはニッケル・クロム合金を速やかに溶解し、かつ銅のエッチングを抑制できるエッチング液を提供する【解決手段】硫酸1〜50重量%、塩酸0.1〜20重量%、銅イオン捕捉機能を有する銅エッチング抑制成分0.01〜20重量%を水に配合してエッチング液とする。前記銅エッチング抑制成分としては、例えば、硫黄原子を含み、かつアミノ基、イミノ基、カルボキシル基、カルボニル基および水酸基からなる群から選択される少なくとも一種の基を含む炭素原子数7以下の化合物、チアゾール、チアゾール系化合物、ベンザルコニウム、ならびにアルキロールアミド等がある。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

ニッケル、クロム若しくはニッケル・クロム合金を溶解する酸成分と、銅イオン捕捉機能を有する銅エッチング抑制成分とを含むエッチング液。

IPC (2件)：

C23F1/28 , C23F1/30

FI (2件)：

C23F1/28 , C23F1/30

Fターム (13件)：

4K057WA10 , 4K057WB02 , 4K057WB03 , 4K057WC05 , 4K057WE03 , 4K057WE08 , 4K057WE11 , 4K057WE12 , 4K057WE14 , 4K057WE23 , 4K057WF01 , 4K057WF10 , 4K057WN01

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開昭58-197277
選択的ニッケル剥離液およびこれを用いる剥離方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-061634 出願人：荏原ユージライト株式会社
特開昭58-003984

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