特許
J-GLOBAL ID：200903019860157460

精密基板収納容器

発明者：
細井 正人

細井 正人 について

, 
鎌田 俊行

鎌田 俊行 について


出願人/特許権者：
信越ポリマー株式会社

信越ポリマー株式会社 について


代理人 (3件)： 藤本 英介 ,  神田 正義 ,  宮尾 明茂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-137654
公開番号（公開出願番号）：特開2004-342844
出願日： 2003年05月15日
公開日（公表日）： 2004年12月02日
要約：
【課題】別部品に液体が残存して乾燥作業を遅延させたり、残存した液体が容器本体に浸入して汚染を拡大させるおそれがなく、しかも、作業性等の悪化を招かない精密基板収納容器を提供する。【解決手段】半導体ウェーハを整列収納する透明な容器本体1と、容器本体1を開閉する蓋体と、容器本体1の露出した上下面にそれぞれ配設される複数の取付部30・30Aと、容器本体上面の取付部30に着脱自在に嵌合されるロボティックハンドル40と、容器本体下面の取付部に着脱自在に嵌合されるボトムプレートとを備える。そして、複数の取付部30・30Aにおける洗浄液の残存しやすい領域に、平均表面粗さが10a〜100aのしぼ70を形成する。【選択図】 図4
請求項（抜粋）：
精密基板を収納する容器本体に別部品を取り付ける精密基板収納容器であって、 容器本体及び又は別部品の液体の残存しやすい領域に、しぼを形成したことを特徴とする精密基板収納容器。
IPC (2件)：
H01L21/68 ,  B65D85/86
FI (2件)：
H01L21/68 T ,  B65D85/38 R
Fターム (19件)：
3E096AA06 ,  3E096BA15 ,  3E096BB03 ,  3E096CA02 ,  3E096CA09 ,  3E096CB03 ,  3E096CC02 ,  3E096DA30 ,  3E096DC04 ,  3E096EA02 ,  3E096FA08 ,  3E096FA30 ,  3E096FA31 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031DA08 ,  5F031EA20 ,  5F031PA24 ,  5F031PA30
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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