特許
J-GLOBAL ID：200903079299018297
精密基板収納容器及びその位置決め構造並びに精密基板収納容器の位置決め方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤本 博光 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-228283
公開番号（公開出願番号）：特開平11-168136
出願日： 1998年08月12日
公開日（公表日）： 1999年06月22日
要約：
【要約】【課題】 正確な位置精度を保持でき、仕様の異なる装置にも容易に対応などすることのできる精密基板収納容器及びその位置決め構造並びに精密基板収納容器の位置決め方法を提供する。【解決手段】 ウェーハWを整列収納する容器本体1と、容器本体1の底面に一体的に突出成形される複数の位置決め手段4と、各位置決め手段4の全周囲を嵌合包囲する別部品で枠形の誘導部材9とを備える。各位置決め手段4の先端面に凹部8を形成し、この凹部8内をその最先端部7aから基部7bに向け徐々に狭める。そして、各誘導部材9の先端面10をその最先端部10aから内周面10bに向け徐々に傾斜させて誘導面11とし、誘導面11を凹部8の内面とほぼ連続させる。容器本体1の底面に位置決め手段4を一体射出成形するので、位置決め手段4を誤差の生じやすい接着剤や締結具を利用して取り付ける必要がない。
請求項（抜粋）：
精密基板を収納する容器本体と、この容器本体の一面に一体的に突出成形される複数の位置決め手段と、各位置決め手段の周囲の少なくとも両側部に位置する別体の誘導部材とを含んでなる精密基板収納容器であって、該各位置決め手段の先端面がその開口先端部側から内方側に向け徐々に狭まった凹部をなし、上記各誘導部材の先端面がその外側から内側に向け徐々に傾斜し、上記凹部の表面とほぼ連続する誘導面となるようにしたことを特徴とする精密基板収納容器。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 T
, B65D 85/38 R
