特許
J-GLOBAL ID：200903019863097361

液晶表示装置の製造方法

発明者：
齋田 哲夫

齋田 哲夫 について


出願人/特許権者：
松下電器産業株式会社

松下電器産業株式会社 について


代理人 (1件)： 早瀬 憲一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-363175
公開番号（公開出願番号）：特開2003-161953
出願日： 2001年11月28日
公開日（公表日）： 2003年06月06日
要約：
【要約】【課題】 画素電極近傍の光り抜けを防止できるアクティブマトリックス型液晶表示装置の製造方法を提供すること。【解決手段】 アレイ基板に対して略平行な電界を発生させることにより、液晶分子の配列を変化させる、アクティブマトリックス型液晶表示装置において、アレイ基板10上に、配線を形成した後透明な絶縁膜20を成膜する工程と、該配線側面に、該配線の膜厚に対する比が0.5以上1.0以下の膜厚の前記絶縁膜を残すように、該絶縁膜をドライエッチングする工程と、前記配線の膜厚に対する比が0.2以下の膜厚の前記配線のみ、ウェットエッチングする工程とを含むようにした。
請求項（抜粋）：
アレイ基板に対して略平行な電界を発生させることにより、液晶分子の配列を変化させる、アクティブマトリックス型液晶表示装置の製造方法において、上記アレイ基板上に配線を形成した後、透明な絶縁膜を成膜する工程と、該配線側面に、該配線の膜厚に対する比が0.5以上1.0以下の膜厚の前記絶縁膜を残すように、該絶縁膜をエッチングする工程とを含む、ことを特徴とする、液晶表示装置の製造方法。
IPC (5件)：
G02F 1/1343 ,  G02F 1/1333 505 ,  G02F 1/1368 ,  H01L 21/336 ,  H01L 29/786
FI (4件)：
G02F 1/1343 ,  G02F 1/1333 505 ,  G02F 1/1368 ,  H01L 29/78 612 Z
Fターム (35件)：
2H090HA03 ,  2H090HA07 ,  2H090HB04 ,  2H090HC12 ,  2H090JA05 ,  2H090LA01 ,  2H090LA04 ,  2H092GA14 ,  2H092GA16 ,  2H092GA17 ,  2H092GA25 ,  2H092JA24 ,  2H092JB05 ,  2H092MA17 ,  2H092NA04 ,  2H092NA19 ,  5F110AA30 ,  5F110BB01 ,  5F110CC07 ,  5F110DD02 ,  5F110EE03 ,  5F110EE44 ,  5F110FF03 ,  5F110FF29 ,  5F110GG02 ,  5F110GG15 ,  5F110GG44 ,  5F110HK03 ,  5F110HK32 ,  5F110HM20 ,  5F110NN02 ,  5F110NN24 ,  5F110NN35 ,  5F110NN72 ,  5F110QQ05
引用特許：
出願人引用 (5件)
全件表示
審査官引用 (2件)

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