特許
J-GLOBAL ID:200903019913734910

粘着シート貼付け方法およびこれを用いた装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 杉谷 勉
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-030548
公開番号(公開出願番号):特開2005-223190
出願日: 2004年02月06日
公開日(公表日): 2005年08月18日
要約:
【課題】 貼付けローラの進行方向に対して貼付け幅が変化するワークに貼付け応力分布の偏り少なく粘着シートを貼り付けることができるようにする。【解決手段】 貼付けローラ30を介してワークWに粘着シートTを貼り付ける粘着シート貼付け方法において、貼付けローラ30の進行方向に対して貼付け幅が変化するワークWに対し、貼付け幅が広くなるに従って、貼付けローラ30の荷重を大きくなるように制御し、単位面積あたりの荷重を略均一にする。【選択図】 図9
請求項(抜粋):
被粘着面に貼付けローラを転動させながら粘着シートを保持手段に保持されたワーク面上に貼り付ける粘着シート貼付け方法において 前記貼付けローラの進行方向に対して貼付け幅が変化するワークに対して、粘着シートの貼付け応力が一定となるようにワークと粘着シートとを、貼付けローラと保持手段とにより挟持しながら粘着シートをワークに貼付けることを特徴とする粘着シート貼付け方法。
IPC (3件):
H01L21/68 ,  H01L21/301 ,  H01L21/304
FI (3件):
H01L21/68 N ,  H01L21/304 622J ,  H01L21/78 M
Fターム (6件):
5F031CA02 ,  5F031DA15 ,  5F031HA78 ,  5F031MA22 ,  5F031MA24 ,  5F031MA37
引用特許:
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (3件)

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