特許
J-GLOBAL ID：200903020005891988

透明ガスバリアフィルムおよびそれを用いた表示装置

発明者：
江口 敏正

江口 敏正 について

, 
丸山 宏典

丸山 宏典 について

, 
杉崎 敦

杉崎 敦 について


出願人/特許権者：
住友ベークライト株式会社

住友ベークライト株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-199090
公開番号（公開出願番号）：特開2005-035128
出願日： 2003年07月18日
公開日（公表日）： 2005年02月10日
要約：
【課題】水蒸気透過度が低く光線透過率が高い透明ガスバリアフィルムを提供する。【解決手段】プラスチックフィルム上に、第1の膜として、A群(B,Al,Si,Ti,Cr,V,Zn,Ga,Ge,Y,Zr,Nb,Mo,In,Sn,La,Ce,Ta,W,Pb)より選ばれる1つ以上の元素の酸化物,窒化物または酸化窒化物が、酸化物,窒化物または酸化窒化物のターゲットを用いたRFスパッタリングにより成膜され、その上層に、第2の膜として、B群(B,Al,Si,Ti,Ta)より選ばれる1つ以上の元素の酸化物,窒化物または酸化窒化物が、導電性ターゲットを用いたパルスDCスパッタリングまたはデュアルマグネトロンスパッタリングにより成膜された構成を有する波長550nmにおける光線透過率が70%以上である透明ガスバリアフィルム。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
プラスチックフィルム上に、A群より選ばれる1つ以上の元素の酸化物、窒化物または酸化窒化物を主成分とするターゲットを用いたRFスパッタリングにより第1の膜が積層され、その上層に、B群より選ばれる1つ以上の元素の酸化物、窒化物または酸化窒化物を主成分とする第2の膜が積層された波長550nmにおける光線透過率が70%以上である透明ガスバリアフィルム。 A群 B,Al,Si,Ti,Cr,V,Zn,Ga,Ge,Y,Zr,Nb,Mo,In,Sn,La,Ce,Ta,W,Pb B群 B,Al,Si,Ti,Ta
IPC (3件)：
B32B9/00 ,  C23C14/06 ,  C23C14/20
FI (3件)：
B32B9/00 A ,  C23C14/06 P ,  C23C14/20 A
Fターム (51件)：
4F100AA12B ,  4F100AA13B ,  4F100AA14B ,  4F100AA17B ,  4F100AA18B ,  4F100AA20B ,  4F100AA21B ,  4F100AA22B ,  4F100AA25B ,  4F100AA26B ,  4F100AA27B ,  4F100AA28B ,  4F100AA33B ,  4F100AK10A ,  4F100AK25A ,  4F100AK53A ,  4F100AK54A ,  4F100AK55A ,  4F100AR00A ,  4F100BA02 ,  4F100EH66B ,  4F100GB41 ,  4F100JD02 ,  4F100JD04 ,  4F100JK06 ,  4F100JN01 ,  4F100JN01A ,  4K029AA11 ,  4K029AA25 ,  4K029BA41 ,  4K029BA43 ,  4K029BA44 ,  4K029BA45 ,  4K029BA46 ,  4K029BA47 ,  4K029BA48 ,  4K029BA49 ,  4K029BA58 ,  4K029BA59 ,  4K029BA60 ,  4K029BB02 ,  4K029BC00 ,  4K029BD00 ,  4K029CA01 ,  4K029CA03 ,  4K029CA05 ,  4K029DC02 ,  4K029DC05 ,  4K029DC34 ,  4K029DC39 ,  4K029EA08
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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