特許
J-GLOBAL ID：200903020083633626
光電子分光装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (2件)：
永井 冬紀 (外1名)
, 永井 冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-207366
公開番号（公開出願番号）：特開平10-050250
出願日： 1996年08月06日
公開日（公表日）： 1998年02月20日
要約：
【要約】【課題】 光電子検出器の性能低下を防止して、その結果、安定かつ正確に光電子のエネルギー分析を行うことができる光電子分光装置を提供すること。【解決手段】 試料108にパルスX線源100、102、103、104、105からのX線をX線光学素子107を用いて照射したときに試料表面から放出される光電子が飛行管内を飛行する時間の分布を光電子検出器116を用いて計測することにより、光電子のエネルギー分析を行う光電子分光装置において、試料108表面から放出される光電子を収集して光電子束を飛行管内に形成するための磁界発生部109を試料108の近傍に設け、かつ、飛行管の終端部近傍の位置であって、しかも光電子検出器116よりも前段の位置に、収集された光電子束を発散させて、その光電子束が光電子検出器116の光電子検出面に入射する面積を増大させるための偏向電極、静電レンズ、磁界によるレンズまたは電磁レンズ115を設けたことを特徴とする光電子分光装置。
請求項（抜粋）：
試料にパルスX線源からのX線を、X線光学素子を用いて照射したときに試料表面から放出される光電子が飛行管内を飛行する時間の分布を光電子検出器を用いて計測することにより、光電子のエネルギー分析を行う光電子分光装置において、前記試料表面から放出される光電子を収集して光電子束を前記飛行管内に形成するための磁界発生部を前記試料の近傍に設け、かつ、前記飛行管の終端部近傍の位置であって、しかも前記光電子検出器よりも前段の位置に、前記収集された光電子束を発散させて、その光電子束が前記光電子検出器の光電子検出面に入射する面積を増大させるための偏向電極、静電レンズ、磁界によるレンズおよび電磁レンズのいずれかひとつを設けるか、または、偏向電極、静電レンズ、磁界によるレンズおよび電磁レンズのうち少なくとも二つ以上を組合せて設けることを特徴とする光電子分光装置。
IPC (4件)：
H01J 49/44
, G01N 23/227
, H01J 37/244
, H01J 37/252
H01J 49/44
, G01N 23/227
, H01J 37/244
, H01J 37/252 A
