特許
J-GLOBAL ID：200903020112037795
液体吐出ヘッドの製造方法、液体吐出ヘッド及び液体吐出装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
多田 繁範
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-140575
公開番号（公開出願番号）：特開2006-315310
出願日： 2005年05月13日
公開日（公表日）： 2006年11月24日
要約：
【課題】 本発明は、液体吐出ヘッドの製造方法、液体吐出ヘッド及び液体吐出装置に関し、例えばインクジェット方式によるラインプリンタに適用して、液室の形状によりヘッドチップをパターニングした後、被覆層を形成してパターニングの部材を除去することにより液室等を作成するようにして、平坦化パターンの形成によりノズル端面を平坦化する場合にあっても、この平坦化パターンにより発生するひさしの損傷を有効に回避することができるようにする。【解決手段】 本発明は、ひさしの飛び出しが4〜0.3〔μm〕の範囲となるように設定する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
エネルギー発生素子の駆動により、液室に保持した液体をノズルから吐出させる液体吐出ヘッドの製造方法において、
前記エネルギー発生素子を基板上に形成する基板処理の工程と、
前記液室の形状によるパターン、前記液室に前記液体を導く流路の形状によるパターン、前記ノズルの端面を平坦化するための平坦化パターンを前記基板上に形成するパターン作成の工程と、
前記液室の形状によるパターン、前記流路の形状によるパターン、前記平坦化パターンを覆う被覆層を形成する被覆層作成の工程と、
前記被覆層に前記ノズルを作成すると共に、前記被覆層の前記平坦化パターンの箇所に開口を形成する被覆層の加工工程と、
前記液室の形状によるパターン、前記流路の形状によるパターン、前記平坦化パターンを除去するパターン除去の工程とを有し、
前記被覆層加工の工程は、
前記パターン除去の工程により前記平坦化パターンを除去したとき、前記平坦化パターンの除去により形成される空隙の外側壁面から前記被覆層が4〜0.3〔μm〕の範囲でひさし状に飛び出して前記開口となるように、前記開口を形成する
ことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B41J3/04 103H
, B41J3/04 103B
2C057AF93
, 2C057AN05
, 2C057AP02
, 2C057AP47
, 2C057AP57
, 2C057AP77
, 2C057BA03
, 2C057BA13
