特許
J-GLOBAL ID：200903093715977579
液体噴射ヘッドおよびその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 忠 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-312275
公開番号（公開出願番号）：特開平11-138817
出願日： 1997年11月13日
公開日（公表日）： 1999年05月25日
要約：
【要約】【課題】 発熱体を有する基板面に対して垂直方向にインク液滴が吐出される液体噴射記録ヘッドであって、基板上に、溶解可能な樹脂層よりなるインク流路用のパターンと共に、流路用パターン上に形成され、オリフィスプレートとなる被覆樹脂層を平坦にするための土台となる溶解可能な樹脂層のパターンを形成し、インク流路用パターンおよび土台となるパターン上に平坦な樹脂層を形成した後に、両パターンを構成した溶解可能な樹脂層をすべて除去してなる液体噴射ヘッドにおいて、製造時および使用時にゴミの発生が少なく、信頼性の高い同ヘッドの製造方法を提供する。【解決手段】 土台となった溶解可能な樹脂層を除去するために被覆樹脂層に設けられる貫通口を、土台の大きさよりも充分大きく形成する。
請求項（抜粋）：
発熱体を有する基板面に対して垂直方向にインク液滴が吐出される液体噴射記録ヘッドにおいて、前記基板上に、溶解可能な樹脂層よりなるインク流路用のパターンと共に、前記流路用パターン上に形成されるオリフィスプレートとなる被覆樹脂層を平坦にするための土台となる前記溶解可能な樹脂層のパターンを形成し、前記インク流路用パターンおよび土台となるパターン上に平坦な樹脂層を形成した後に、前記両パターンを構成した溶解可能な樹脂層をすべて除去してなる液体噴射ヘッドであって、土台となった前記溶解可能な樹脂層を除去するための前記被覆樹脂層に設けられた貫通口が、前記土台の大きさよりも5μm以上大きく形成されていることを特徴とする液体噴射記録ヘッド。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B41J 3/04 103 B
, B41J 3/04 103 H
