特許
J-GLOBAL ID：200903020140700556
レーザCVD装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岩佐 義幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-136925
公開番号（公開出願番号）：特開2000-328247
出願日： 1999年05月18日
公開日（公表日）： 2000年11月28日
要約：
【要約】【課題】 基板をセットする際に損傷せず、CVDガスがガスウィンドウの周囲に漏れない安全かつ安定したレーザCVD装置を提供する。【解決手段】 レーザ光源11と、レーザ光源11により基板2上の所定の位置にレーザ光を照射して基板2を観察する機能を備えた顕微レーザ光学系8と、基板2上のレーザ光照射位置に局所的なCVDガス供給排気を行うガスウインドウ1とを備え、顕微レーザ光学系8が、対物レンズ3,4の焦点位置を調整する自動焦点調節機構を備え、自動焦点調整機構に前記ガスウインドウ1が連動して動作する。顕微レーザ光学系8は、ガスウィンドウ1を介して基板2上に照射させるための倍率の異なる対物レンズ3,4と、対物レンズ3,4のうちから一つを選択するレボルバ5を備える。
請求項（抜粋）：
レーザ光源と、前記レーザ光源により基板上の所定の位置にレーザ光を照射して基板を観察する機能を備えた顕微レーザ光学系と、前記基板上の前記所定の位置に局所的なCVDガスの供給排気を行うガスウインドウとを備えたレーザCVD装置において、前記顕微レーザ光学系が、対物レンズの焦点位置を調整する自動焦点調節機構を備え、前記自動焦点調整機構に前記ガスウインドウが連動して動作することを特徴とするレーザCVD装置。
IPC (3件)：
C23C 16/44
, G02B 21/00
, G03F 7/40 511
C23C 16/44 B
, G02B 21/00
, G03F 7/40 511
2H052AC04
, 2H052AC16
, 2H052AC34
, 2H052AD09
, 2H052AD33
, 2H052AF01
, 2H052AF14
, 2H096AA28
, 2H096AA30
, 2H096HA05
, 2H096LA30
, 4K030BB14
, 4K030CA12
, 4K030FA07
, 4K030HA17
, 4K030KA37
, 4K030KA39
, 4K030KA41
