特許

J-GLOBAL ID：200903020199791717

磁気式力センサ

発明者： 佐藤 修一
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (2件)： 西山 恵三 ,  内尾 裕一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-201968
公開番号（公開出願番号）：特開2009-075083
出願日： 2008年08月05日
公開日（公表日）： 2009年04月09日
要約：

【課題】 感度を高め、磁束発生源が外部へ与える影響を抑制し、ノイズに対しての信頼性を向上できる構造にした、力、モーメントを6軸検出する磁気式力センサを提供する。【解決手段】 磁束発生源の外周部に磁束の流れを制御する磁性体を配置する。それによって、磁電変換素子に流入する磁束を集中させ、感度が高まる。磁束は透磁率の高い磁性体に優先的に入り込むため、磁束発生源が外部へ与える影響を抑制し、ノイズに対しての信頼性を向上できる。さらに、磁束発生源を中心として8つの磁電変換素子を配置することにより、力、モーメントを6軸検出できる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

外部からの力が作用する作用部と、 該作用部の力を電気信号に変換するセンシング部と、 作用部を弾性支持する弾性体を備え、内部に前記センシング部を収めた外枠と、 を有する磁気式力センサにおいて、 前記センシング部には、前記作用部と連結された磁束発生源と、該磁束発生源が変位することによる磁束の変化量を検出する前記外枠に固定された磁電変換素子を有しており、磁束発生源の外周部には、前記磁束発生源の磁化方向軸を包囲して磁性体が配置されていることを特徴とする磁気式力センサ。

IPC (2件)：

G01L 1/04 ,  G01L 5/16

FI (2件)：

G01L1/04 ,  G01L5/16

Fターム (4件)：

2F051AA10 ,  2F051AB05 ,  2F051DA03 ,  2F051DB03

引用特許：

出願人引用 (5件)

• 特開平01-262431号公報
  
• 多分力検出器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-122015   出願人：旭化成エレクトロニクス株式会社
• 圧力センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-030653   出願人：TDK株式会社
• 特開平1-196585
  
• 荷重センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-013016   出願人：株式会社フジユニバンス, 森田信義

審査官引用 (3件)

• 圧力センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-030653   出願人：TDK株式会社
• 特開平1-196585
  
• 荷重センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-013016   出願人：株式会社フジユニバンス, 森田信義