特許

J-GLOBAL ID：200903020202157781

位置検出装置、露光装置、および露光方法

発明者： 中村 綾子
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 山口 孝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-320588
公開番号（公開出願番号）：特開2003-124104
出願日： 2001年10月18日
公開日（公表日）： 2003年04月25日
要約：

【要約】【課題】 広帯域照明を用いているにもかかわらず、光学系に残存する色毎の収差の影響を実質的に受けることなく高精度な位置検出を行うことのできる位置検出装置。【解決手段】 マーク(WM)からの光を導く対物光学系と、マークからの光を光電検出する光電検出器(15,16)と、光電検出器の出力信号を信号処理する信号処理系(18)とを備えている。光電検出器は、第1波長帯域においてマークからの光を光電検出する第1光電検出器(15a、16a)と、第2波長帯域においてマークからの光を光電検出する第2光電検出器(15b、16b)とを有する。信号処理系は、第1および第2波長帯域の光に対する対物光学系の収差に基づいて、第1光電検出器および第2光電検出器の出力信号を補正する。

請求項（抜粋）：

位置検出すべき物体に設けられたマークからの光を導く対物光学系と、前記マークからの光を光電検出する光電検出器と、該光電検出器の出力信号を信号処理する信号処理系とを備えた位置検出装置において、前記光電検出器は、第1波長帯域において前記マークからの光を光電検出するための第1光電検出器と、第2波長帯域において前記マークからの光を光電検出するための第2光電検出器とを有し、前記信号処理系は、前記第1波長帯域の光および前記第2波長帯域の光に対する前記対物光学系の収差に基づいて、前記第1光電検出器の出力信号および前記第2光電検出器の出力信号をそれぞれ補正することを特徴とする位置検出装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G01B 11/00 ,  G03F 9/00

FI (4件)：

G01B 11/00 H ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/30 525 N ,  H01L 21/30 525 S

Fターム (44件)：

2F065AA03 ,  2F065AA07 ,  2F065AA14 ,  2F065AA20 ,  2F065BB02 ,  2F065BB28 ,  2F065CC20 ,  2F065DD03 ,  2F065DD09 ,  2F065EE08 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065GG02 ,  2F065GG24 ,  2F065HH04 ,  2F065HH13 ,  2F065HH17 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL02 ,  2F065LL04 ,  2F065LL12 ,  2F065LL20 ,  2F065LL30 ,  2F065LL46 ,  2F065MM03 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ25 ,  2F065UU02 ,  5F046BA03 ,  5F046ED02 ,  5F046FA03 ,  5F046FA06 ,  5F046FA07 ,  5F046FA10 ,  5F046FA17 ,  5F046FB08 ,  5F046FB10 ,  5F046FB13 ,  5F046FC04 ,  5F046FC05

引用特許：

審査官引用 (3件)

• アライメント装置、収差測定方法、及び収差測定マーク
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-373070   出願人：株式会社東芝
• 光学系の検査装置および検査方法並びに該検査装置を備えた位置合わせ装置および投影露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-242961   出願人：株式会社ニコン
• パターン検出方法及びパターン検出装置及びそれを用いた投影露光装置及び露光システム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-225432   出願人：株式会社日立製作所