特許
J-GLOBAL ID：200903048529972278
アライメント装置、収差測定方法、及び収差測定マーク
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-373070
公開番号（公開出願番号）：特開2001-189256
出願日： 1999年12月28日
公開日（公表日）： 2001年07月10日
要約：
【要約】【課題】 アライメント装置毎あるいはアライメントマーク毎に差が生じているアライメントオフセットを低減する。【解決手段】 照明光学系1を介して基板4上に形成されたアライメントマークを照明し、アライメントマークの像を、拡大光学系5を用いてCCDカメラ6の受光面に投影してアライメントマークの位置を測定するアライメント装置において、拡大光学系5にコマ収差の偏心成分を平行移動させる任意に傾きを調整可能な平行平面板7を設ける。
請求項（抜粋）：
下地基板上に形成されたアライメントマークを照明する照明光学系と、前記アライメントマークの像を拡大する拡大光学系と、前記拡大光学系を通した光の像を受光する検出器と、前記検出器に入射する光の軸に対する傾きを変えることによりコマ収差の分布を平行移動させる光学系とを具備し、前記光学系には、前記コマ収差の偏心を補正する調整機構が設けられていることを特徴とするアライメント装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G03F 9/00 H
, H01L 21/30 525 R
5F046AA25
, 5F046CB19
, 5F046DA13
, 5F046DB05
, 5F046EA03
, 5F046EA10
, 5F046EB01
, 5F046FA10
, 5F046FB11
, 5F046FB17
