光照射式加熱装置の冷却構造

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-191041
公開番号（公開出願番号）：特開2000-114196
出願日： 1999年07月05日
公開日（公表日）： 2000年04月21日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】ウエハを800〜1200°Cの高温に加熱しても、ランプの発光管部、導入管部、シール部等を適切な温度に容易に制御できる、光照射式加熱装置を提供する。【解決手段】発光管部とその端部に設けられた導入管部とシール部とからなる複数のランプ4を光照射室に配置した光照射式加熱装置で発光管部の背後に発光管部からの光を反射しかつ導入管部とシール部11が通る貫通孔6を有するミラー5と、同様な貫通孔を有するプレート10と冷却風取入れ口17または排出口を有するカバーとからなるカバー室15と、カバー室のプレートとミラーとの間に設けられ、ダクト20を介して排気装置または送風装置に接続された風箱13とを設け、排気装置によってカバーの冷却風取入れ口からプレートの貫通孔、風箱、ダクトを介して、および光照射室1の冷却風取入れ口から、光照射室、ミラーの貫通孔、風箱、ダクトを介して排風し、ランプ等を冷却する。

請求項（抜粋）：

発光管部と、発光管部の端部に設けられた導入管部とシール部とからなる複数のランプを光照射室に配置した光照射式加熱装置において、ランプの発光管部の背後に発光管部からの光を反射しかつランプの導入管部とシール部が通る貫通孔を有するミラーと、ランプのシール部が通る貫通孔を有するプレートと冷却風取り入れ口を有するカバーとからなるカバー室と、カバー室のプレートとミラーとの間に設けられ、ダクトを介して排気装置に接続された風箱とを設け、排気装置によって、カバーの冷却風取り入れ口から、プレートの貫通孔、風箱、ダクトを介して、および光照射室の冷却風取り入れ口から、光照射室、ミラーの貫通孔、風箱、ダクトを介して、排風することによってランプ等を冷却することを特徴とする光照射式加熱装置の冷却構造。

IPC (3件)：

H01L 21/26 , H01L 21/205 , H01L 21/22 501

FI (4件)：

H01L 21/26 G , H01L 21/205 , H01L 21/22 501 L , H01L 21/26 T

引用特許：

審査官引用 (4件)

半導体製造装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-003227 出願人：富士通株式会社
半導体製造装置等における加熱装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-297123 出願人：アプライドマテリアルズジヤパン株式会社
特開昭63-086515

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