スラリー補給方法およびスラリー補給装置

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：荒船良男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-087776
公開番号（公開出願番号）：特開平11-277396
出願日： 1998年03月31日
公開日（公表日）： 1999年10月12日
要約：

【要約】【課題】ワイヤソーで切り出されるウェーハの平坦度の向上が図れるスラリー補給方法およびスラリー補給装置を提供する。【解決手段】ワイヤソーにスラリーを供給するスラリー供給装置にスラリーを補給するためのスラリー補給方法であって、ワークの切断処理途中にスラリーを補給することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

ワイヤソーにスラリーを供給するスラリー供給装置にスラリーを補給するためのスラリー補給方法であって、ワークの切断処理途中にスラリーを補給することを特徴とするスラリー補給方法。

IPC (3件)：

B24B 27/06 , B24B 57/02 , H01L 21/304 611

FI (3件)：

B24B 27/06 D , B24B 57/02 , H01L 21/304 611 W

引用特許：

出願人引用 (3件)

審査官引用 (3件)

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