変位計

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-164449
公開番号（公開出願番号）：特開平8-320208
出願日： 1995年05月25日
公開日（公表日）： 1996年12月03日
要約：

【要約】【目的】透光性物質を通しても被測定物の表面の変位を高精度に測定する。【構成】被測定物16に光を投射するレーザダイオード12と、レーザダイオード12と被測定物16との間に配したレンズ15に対して移動可能に配置された第2の光絞り部29を有し、さらにレンズ15を振動させる音叉21と、被測定物16からの反射光が通過するピンホール17aと、ピンホール17aを通った光を受光するホトダイオード18と、ホトダイオード18の受光量最大時点で、レンズ15の検出位置信号を捉える演算部20と、捉えた検出位置信号に基づいて距離に変換する距離変換部50とを備える。

請求項（抜粋）：

発光部が出射した光を収束させ、被測定物に投射させるレンズと、被測定物からの反射光を受光する受光部とを有し、該受光部が受光した受光量に基づいて被測定物の表面の変位を測定する変位計において、前記レンズのうち少なくとも1枚のレンズを略光軸方向に移動させる移動手段と、該移動手段により移動されるレンズの位置を検出する位置検出部と、被測定物からの反射光を受光する受光部の前方に配置された第1の光絞り部と、前記位置検出部が出力する検出位置信号を、前記受光部の受光量の最大時点で捉える手段と、捉えた検出位置信号に基づいて被測定物の表面の変位を求める手段と、前記レンズの前方又は後方に配置された第2の光絞り部とを備えることを特徴とする変位計。

引用特許：

出願人引用 (4件)

表面変位計
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-053990 出願人：株式会社日立製作所, アキタ電子株式会社
変位計及び変位測定方法、厚み計
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-257255 出願人：株式会社キーエンス
特開昭61-292004

全件表示

審査官引用 (2件)

表面変位計
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-053990 出願人：株式会社日立製作所, アキタ電子株式会社
変位計及び変位測定方法、厚み計
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-257255 出願人：株式会社キーエンス

前のページに戻る