特許
J-GLOBAL ID:200903020279618021
光電変換膜積層型カラー固体撮像素子
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件):
小栗 昌平
, 本多 弘徳
, 市川 利光
, 高松 猛
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-088468
公開番号(公開出願番号):特開2006-269923
出願日: 2005年03月25日
公開日(公表日): 2006年10月05日
要約:
【課題】 撮像素子周辺部における偽色発生を抑制する。【解決手段】 シリコン基板201の表面に形成されたフォトダイオード(204,203)を青色光検出用の青画素とし、青画素の下に形成されたフォトダイオード(203,202)を赤色光検出用の赤画素とし、画素毎に区分けされた画素電極膜208と共通電極膜210とに挟まれシリコン基板201の上に積層された光電変換膜209を緑色光検出用の緑画素とし、シリコン基板201の表面に対して垂直方向に並ぶ青画素,赤画素,緑画素で構成される単位セルがシリコン基板表面に二次元的に配置形成される光電変換膜積層型カラー固体撮像素子において、緑画素の感度分布の重心Sg位置と赤画素の感度分布の重心Sr位置との距離Wと単位セルの配列ピッチPとが、P≧Wであることを特徴とする。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
シリコン基板の表面に形成されたフォトダイオードを青色光検出用の青画素とし、該青画素の下に形成されたフォトダイオードを赤色光検出用の赤画素とし、画素毎に区分けされた画素電極膜と共通電極膜とに挟まれ前記シリコン基板の上に積層された光電変換膜を緑色光検出用の緑画素とし、前記シリコン基板の表面に対して垂直方向に並ぶ前記青画素,赤画素,緑画素で構成される単位セルが前記シリコン基板表面に二次元的に配置形成される光電変換膜積層型カラー固体撮像素子において、前記緑画素の感度分布の重心位置と前記赤画素の感度分布の重心位置との距離Wと前記単位セルの配列ピッチPとが、P≧Wであることを特徴とする光電変換膜積層型カラー固体撮像素子。
IPC (3件):
H01L 27/146
, H04N 5/335
, H04N 9/07
FI (4件):
H01L27/14 E
, H04N5/335 U
, H04N9/07 A
, H01L27/14 A
Fターム (31件):
4M118AA01
, 4M118AA05
, 4M118AB01
, 4M118BA10
, 4M118BA14
, 4M118CA03
, 4M118CA15
, 4M118CA18
, 4M118CA22
, 4M118CA26
, 4M118CA27
, 4M118CB14
, 4M118EA15
, 4M118FA06
, 4M118GB07
, 4M118GD04
, 4M118GD07
, 5C024AX01
, 5C024CX11
, 5C024CX37
, 5C024DX01
, 5C024EX43
, 5C024GX03
, 5C024GY11
, 5C024GY31
, 5C065BB13
, 5C065BB30
, 5C065CC01
, 5C065DD17
, 5C065EE03
, 5C065EE12
引用特許: