特許
J-GLOBAL ID:200903020294875790

複屈折性検査対象物の検査装置及び検査方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 宮川 貞二 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-250559
公開番号(公開出願番号):特開2002-055055
出願日: 2000年08月22日
公開日(公表日): 2002年02月20日
要約:
【要約】【課題】 透明なフィルムまたはフィルムパッケージのような複屈折性検査対象物の表面やパッケージの内部の状態に拘わらずそのようなフィルム等を検査することができる検査装置及び検査方法を提供する。【解決手段】複屈折性を有する検査対象物1に所定の偏光方向に偏光した光を照射する照射装置12と;照射された検査対象物1からの光を検出し、色情報を取得する撮像素子22と;検査対象物1と撮像素子22との間に配置された検光子21とを備え;前記所定の偏光方向と前記検光子の偏光方向とを、直交ニコルの関係に設定し;前記直交ニコルの関係を維持したまま、前記偏光した光と検光子21の偏光方向とをそれぞれの光軸AX1、AX2回りに回転可能に構成した複屈折性検査対象物の検査装置。検光子を備えるので、透明なフィルムやフィルムパッケージで偏光状態が変化したとき、その変化を撮像素子で検出することができる。
請求項(抜粋):
複屈折性を有する検査対象物に所定の偏光方向に偏光した光を照射する照射装置と;前記照射された検査対象物からの光を検出し、色情報を取得する撮像素子と;前記検査対象物と前記撮像素子との間に配置された検光子とを備え;前記所定の偏光方向と前記検光子の偏光方向とを、直交ニコルの関係に設定し;前記直交ニコルの関係を維持したまま、前記偏光した光と前記検光子とをそれぞれの光軸回りに回転可能に構成したことを特徴とする;複屈折性検査対象物の検査装置。
IPC (4件):
G01N 21/892 ,  G02B 5/30 ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1335
FI (4件):
G01N 21/892 A ,  G02B 5/30 ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1335
Fターム (28件):
2G051AA41 ,  2G051AB04 ,  2G051AB20 ,  2G051BA11 ,  2G051BA20 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CA07 ,  2G051CB01 ,  2G051EA08 ,  2G051EA11 ,  2G051EA17 ,  2G051FA10 ,  2H049BA02 ,  2H049BA06 ,  2H049BB03 ,  2H049BC01 ,  2H049BC22 ,  2H088FA11 ,  2H088FA13 ,  2H088FA30 ,  2H088MA20 ,  2H091FA11X ,  2H091FA11Z ,  2H091FA50X ,  2H091FA50Z ,  2H091FC30 ,  2H091LA12
引用特許:
審査官引用 (6件)
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