特許
J-GLOBAL ID：200903020300545587
ローリング角度測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
金田 暢之 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-206391
公開番号（公開出願番号）：特開2003-021508
出願日： 2001年07月06日
公開日（公表日）： 2003年01月24日
要約：
【要約】【課題】 ステージ上に設置される部材の重量を軽減しつつも、移動体のストローク全体のローリング角度を効率よくかつ正確に測定する。【解決手段】 ステージ110上には、ミラー2a〜2e、偏光ビームスプリッタ3、およびλ/4板4a,4bで構成される導光手段が設置され、レーザ光源10、キューブコーナプリズム1a,1b、および受光器11が、ステージ110とは離れて設置される。レーザ光源10は位相が互いに1/2波長ずれた2つのレーザ光を出射し、レーザ光源10から出射したレーザ光は導光手段で分離されてそれぞれλ/4板4a,4bを介してキューブコーナプリズム1a,1bで折り返されて再び導光手段に入射し、ここで合成されて受光器11で受光される。キューブコーナプリズム1a,1bは、ステージ110にローリングが発生することにより光路長が変化するように設置され、受光器11は光路長の変化に基づく干渉縞を測定する。
請求項（抜粋）：
直線移動されるステージに向かって、位相が互いに1/2波長ずれた2つのレーザ光を、前記ステージの移動方向と平行に出射するレーザ光源と、入射したレーザ光を入射方向と逆向きに折り返すための、それぞれ前記ステージにローリングが発生することにより入射光および出射光の光路長が変化するように設置された、前記ステージの移動方向と平行な方向について前記ステージの移動ストローク以上の長さを有する2つの折り返し手段と、2つのレーザ光を受光して干渉縞を測定する受光器と、前記ステージ上に設置され、前記レーザ光源から出射した前記レーザ光をそれぞれ前記各折り返し手段へ出射するとともに、前記各折り返し手段でそれぞれ折り返されたレーザ光を前記受光器へ導く導光手段とを有するローリング角度測定装置。
Fターム (10件)：
2F065AA35
, 2F065CC17
, 2F065FF52
, 2F065GG04
, 2F065JJ15
, 2F065LL12
, 2F065LL17
, 2F065LL18
, 2F065LL36
, 2F065LL37
