特許
J-GLOBAL ID：200903020302964374
弾性表面波素子、弾性表面波素子の製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
増田 達哉
, 朝比 一夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-319835
公開番号（公開出願番号）：特開2006-135443
出願日： 2004年11月02日
公開日（公表日）： 2006年05月25日
要約：
【課題】挿入損失の改善を図った弾性表面波素子、およびかかる弾性表面波素子の製造方法を提供すること。【解決手段】本発明の弾性表面波素子1は、基板2と、基板2上に順に積層された圧電体層3および絶縁層4と、絶縁層4上に設けられた入力用の櫛歯電極5および出力用の櫛歯電極6とを有している。絶縁層4は、圧電体層3と櫛歯電極5、6との間に設けられている。絶縁層4は、結晶状の物質で構成され、かつ、耐エッチング性を有している。絶縁層4を構成する物質は、圧電体層3を構成する物質の結晶系とほぼ等しい結晶系を有するものである。絶縁層4は、主として、一定の配向性を有する窒化アルミニウムまたは酸化アルミニウムで構成されている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
主として圧電材料で構成された圧電体層と、
前記圧電体層上に設けられ、電気信号を弾性表面波に変換する機能および/または弾性表面波を電気信号に変換する機能を有する櫛歯電極とを備える弾性表面波素子であって、
前記圧電体層と前記櫛歯電極との間に、結晶状の物質で構成され、かつ、耐エッチング性を有する絶縁層を有することを特徴とする弾性表面波素子。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (6件)：
5J097AA01
, 5J097AA24
, 5J097EE08
, 5J097FF05
, 5J097HA03
, 5J097KK09
