特許

J-GLOBAL ID：200903020312776045

感放射線性樹脂組成物

発明者： 後藤 幸平 ,  松原 稔 ,  井上 靖健 ,  秋池 利之
出願人/特許権者： 日本合成ゴム株式会社
代理人 (1件)： 岩見谷 周志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-199622
公開番号（公開出願番号）：特開平10-026829
出願日： 1996年07月10日
公開日（公表日）： 1998年01月27日
要約：

【要約】【課題】アルカリ性水溶液で現像でき、その感度が高く、かつ解像度に優れた感放射線性を有し、しかも、絶縁性、平坦性、耐熱性、耐溶剤性、透明性等の諸性能に優れるのみならず、低誘電率であるパターン状薄膜を容易に形成することができる、感放射線性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】(A)ラジカル重合性(フッ素化)炭化水素(a)に由来する構造単位、不飽和カルボン酸(b)に由来する構造単位、酸により分解され、カルボキシル基を生じる不飽和カルボン酸エステル(c)に由来する構造単位、およびカルボキシル基と反応し架橋を形成しうる官能基を有するラジカル重合性化合物(d)に由来する構造単位を含有する共重合体と、(B)感放射性酸発生剤とを含有する組成物であって、該組成物を硬化して得られる硬化物の比誘電率が3以下である感放射線性樹脂組成物。

請求項（抜粋）：

(A)ラジカル重合性(フッ素化)炭化水素(a)に由来する構造単位、不飽和カルボン酸(b)に由来する構造単位、酸により分解され、カルボキシル基を生じる不飽和カルボン酸エステル(c)に由来する構造単位、およびカルボキシル基と反応し架橋を形成しうる官能基を有するラジカル重合性化合物(d)に由来する構造単位を含有する共重合体と、(B)感放射性酸発生剤とを含有する組成物であって、該組成物を硬化して得られる硬化物の比誘電率が3以下である感放射線性樹脂組成物。

IPC (7件)：

G03F 7/039 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/033 ,  H01L 21/312 ,  H01L 21/768 ,  H01L 21/31 ,  H01L 29/786

FI (7件)：

G03F 7/039 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/033 ,  H01L 21/312 D ,  H01L 21/90 S ,  H01L 21/95 ,  H01L 29/78 619 A

引用特許：

出願人引用 (3件)

• レジスト材料
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-071337   出願人：信越化学工業株式会社
• 感光性組成物及びパターンの形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-099139   出願人：関西ペイント株式会社
• レジスト組成物及びそれを用いたパターン形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-156818   出願人：富士通株式会社

審査官引用 (2件)

• レジスト材料
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-071337   出願人：信越化学工業株式会社
• 感光性組成物及びパターンの形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-099139   出願人：関西ペイント株式会社