微細領域の照明装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：西山春之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-155331
公開番号（公開出願番号）：特開平11-002598
出願日： 1997年06月12日
公開日（公表日）： 1999年01月06日
要約：

【要約】【課題】微細領域の照明装置において、対象物に照射する光の透過性が高く且つ高効率で拡散すると共に中心部から周辺部まで照明光を均一化する。【解決手段】リング状の発光体4から照射される照明光は、第一のレンチキュラーレンズ5aと第二のレンチキュラーレンズ5bとを透過して散乱された光を、さらにプラス焦点のフレネルレンズ6を透過して後方へ導くことにより、フラットな線像強度分布を持つものとなり、照射対象面で均一な輝度分布を形成することができる。これにより、対象部品2に照射する照明光を均一化することができる。また、従来のような光拡散用のスモーク板を用いないので、高透過率を維持した状態で均一な照明光を得ることができる。したがって、対象物に照射する光の透過性が高く且つ高効率で拡散すると共に中心部から周辺部まで照明光を均一化することができる。

請求項（抜粋）：

中央部に対象物を観察するための透孔を有する取付部材と、この取付部材の片面側にて上記透孔を中心としてリング状に設けられた発光体と、この発光体の光照射方向に設けられ一つの平面上に多数のシリンドリカルレンズを並列配置して形成されると共に上記取付部材の透孔に対応する部位には同じく透孔を有し入射光を散乱させる第一のレンチキュラーレンズと、この第一のレンチキュラーレンズの片面側に密接して設けられ該第一のレンチキュラーレンズと同様に構成されると共にそのシリンドリカルレンズの配列方向を上記第一のレンチキュラーレンズのシリンドリカルレンズの配列方向と交差させて配置した第二のレンチキュラーレンズと、この第二のレンチキュラーレンズの光路下流側に近接して設けられると共に上記取付部材の透孔に対応する部位には同じく透孔を有し上記第一及び第二のレンチキュラーレンズを透過した光を後方へ導くフレネルレンズとを備えて成ることを特徴とする微細領域の照明装置。

IPC (2件)：

G01N 21/01 , G01N 21/88

FI (2件)：

G01N 21/01 D , G01N 21/88 F

引用特許：

出願人引用 (6件)

特開平4-122840
特開昭57-178134
連続拡散照明の方法及び装置
公報種別：公表公報出願番号：特願平6-519120 出願人：ノースイーストロボティックス,インコーポレイテッド

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