特許
J-GLOBAL ID：200903020404355321

露光装置

発明者：
荒木 康雄

荒木 康雄 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 飯塚 雄二 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-093145
公開番号（公開出願番号）：特開平9-260271
出願日： 1996年03月22日
公開日（公表日）： 1997年10月03日
要約：
【要約】【課題】マスクの位置ずれを防止できる露光装置を提供すること。【解決手段】マスク(12)が載置されたマスク保持部材(18)と、マスク(12)とマスク保持部材(18)との間に密閉空間(32,58,67,72)を形成する密閉手段(30,54,56,68,70)とを備えるとともに、気圧調整手段(36,76,78)により、マスク(12)が保持部材(18)に対して固定されるように、密閉空間(32,58,67,72)の気圧を調整する。
請求項（抜粋）：
マスクに形成されたパターンの像を投影光学系を介して感光基板上に転写露光する露光装置において、前記マスクが載置されたマスク保持部材と;前記マスクと前記マスク保持部材との間に密閉空間を形成する密閉手段と;前記マスクが前記保持部材に対して固定されるように、前記密閉空間の気圧を調整する気圧調整手段とを備えたことを特徴とする露光装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521
FI (5件)：
H01L 21/30 503 D ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 F ,  H01L 21/30 516 F ,  H01L 21/30 518
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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