特許
J-GLOBAL ID：200903020412555755
集積型SPMセンサ及び走査型プローブ顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
最上 健治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-164576
公開番号（公開出願番号）：特開平8-334521
出願日： 1995年06月08日
公開日（公表日）： 1996年12月17日
要約：
【要約】【目的】 小型で簡単な構成で反射モードでの非透明試料のSNOM測定が可能な集積型SPMセンサ及び走査型プローブ顕微鏡を提供する。【構成】 N型シリコンで形成されたカンチレバー部201 と、該カンチレバー部201 の自由端近傍に形成された光透過口202 に配設された窒化シリコン等の光透過性部材からなる錐状探針211 と、カンチレバー部201 の所定部分にP型不純物を拡散して形成されたフォトダイオードからなる光センサ部204 と、カンチレバー部201 の基部に設けられたガラス等からなる支持部203 と、Al 等からなる光センサ用配線205,206 とで集積型SPMセンサを構成する。そして、錐状探針211 には試料照射用レーザ光が側面より漏れないように、光不透明膜212 が形成されている。
請求項（抜粋）：
支持部より延びたカンチレバー上に光センサを集積化すると共に、該カンチレバーの自由端近傍に光透過部を形成して構成したことを特徴とする集積型SPMセンサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 37/00 E
, G01B 21/30 Z
